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pharos310 电子束曝光系统/曝光机
- 型号
- pharos310
- 参数
- 产地:国产
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电子束曝光系统，刻蚀设备，镀膜设备，光刻机
北京中科复华科技有限公司是一家致力于为半导体领域和微纳米科学领域提供综合性解决方案，为全国各大高校、科研院所及企事业单位提供的半导体设备仪器和微纳米科学仪器，拥有一支经验丰富、技术过硬的技术团队。能够出色地完成售前、售中、售后的服务。未来公司将不断和引进在微纳米科学领域中起重要作用的新仪器和新产品，同时也与全国各所的大学、学院和科研院所建立了良好的合作关系，致力于把具有市场前景的科研成果推向市场。愿与中、外同仁广泛合作， 为中国的教育与科研事业在广范围、高层次上提供服务。
详细信息
加速电压：30Ke可选50Ke
电子束束流：10PA-200nA
单场尺寸：500μmX500μm
样品台：4英寸
样品台：采用激光干涉定位
样品台移动范围：100mm
最细线条:30nm
拼接精度：50nm
套刻精度：50nm
中国的曝光系统行业市场目前正处于快速发展的阶段，技术不断进步，产品创新不断增加。近年来，曝光系统的应用领域也发生了很大变化，在工业制造、半导体制造、印刷包装等领域得到了广泛应用。
随着技术的进步，电子束曝光系统行业市场的竞争格局也开始发生变化。中国电子束曝光系统行业市场的竞争格局主要集中于几个方面。企业间的竞争日趋激烈，各大厂商均在加强技术研发、品牌宣传等方面进行竞争。在产品质量方面，各大厂商也竞相投入，以提升产品的抗腐蚀性、精度、可靠性等性能。再次，在价格方面，各大厂商也在不断努力，以提升电子束曝光系统的性价比，吸引更多的消费者。
