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半导体晶圆微操作、检验设备
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生产厂家北京卓立汉光仪器有限公司是一家集光学、精密机械、电子、计算机技术于一体的高科技企业。卓立汉光自1999年起,通过十年的不断努力,成长为光电仪器厂商。目前公司的电控位移台、手动位移台、光学调整架等产品已经形成产品系列化,规格多元化,国内多家科研单位、激光加工设备厂商、光纤设备厂商在使用我们的产品。2000年推出国内*套量产型三光栅光谱仪后,不断推出了多套荧光、拉曼、光电探测器光谱响应、太阳能电池检测等光谱测量系统,广泛应用在众多高校和科研院所的研究与试验,为国家科技创新贡献了一份力量,产品凭借优良的品质远销欧美、东南亚等海外市场。 2005年10月在同行业中*通过ISO9001质量管理体系SGS认证。
卓立汉光主要生产经营:光谱仪、光谱测量系统、光量测仪器、电控精密位移台、手动精密位移台、光学调整架、光学平台、光学元件等系列产品。
我们诚心聆听用户的需要与批评,作为不断改进的动力,能让您满意卓立汉光的产品及服务,就是我们较大的成就。因此我们以卓立汉光的光机产品提供 “终身保固” 的承诺,来表达我们对产品的信心。我们坚持从设计、零件选型、制造、装配、检验、包装、运输、直到售后服务做好*质量保证,就是要让您 “付有所值”,以合理的价位得到优质的产品,这是我们对您选择卓立汉光真诚的回报。
卓立汉光始终以满足用户需求为宗旨,分别于上海、 成都、 深圳设立分公司,为用户提供及时周到的销售与技术服务。“研发创新、快速反应、优质服务” 是我们的经营理念, 公司*重视优质高效、Z短时间为客户开发产品及提供技术支持。卓立汉光真诚的希望与国内外同仁携手合作,为推动我国光电产业迅猛发展做出贡献。
说明:
此系统是卓立汉光推出的针对半导体晶圆进行微操作、检验的通用开发平台。系统中包括:半导体晶圆装夹单元、半导体晶圆对位单元、机器视觉单元和微操作机械手单元,配套有完整的运动控制系统和机器视觉软件。可以根据客户不同的需求,实现对半导体晶圆进行装夹、对位、转印、清洁、检验等功能。
半导体晶圆微操作、检验设备特点:
系统参数:(本系列产品为设计规格,技术指标以最终发布内容为准)
指标 | 参数 |
机器视觉分辨率(μm) | 0.1 |
显微镜倍率 | 0.5~4.5 |
摄像头分辨率 | 2048×1536 |
帧率(fps) | 15 |
摄像头类型 | 单色 |
光源 | 单色同轴光源 |
Mark点识别重复性(μm) | 0.1 |
Mark点识别对位精度(μm) | <0.5 |
大行程X轴滑台行程(mm) | 400 |
大行程Y轴滑台行程(mm) | 200 |
大行程重复定位精度(μm) | 1 |
大行程运动分辨率(μm) | ±1 |
精密对位X轴滑台行程(mm) | 10 |
精密对位Y轴滑台行程(mm) | 10 |
精密对位Z轴滑台行程(mm) | 20 |
精密对位线性维度单向重复定位精度(μm) | ±1 |
精密对位线性运动分辨率(μm) | 0.1 |
精密对位θZ轴滑台行程(°) | 5 |
晶圆工位(个) | 2 |
晶圆真空吸附通道(路) | 4 |