显微分光膜厚仪

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OPTM 系列 显微分光膜厚仪

型号
OPTM 系列
北京卓立汉光仪器有限公司

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太阳能电池测试仪器(系统)、LED检测仪器(系统)、光谱仪、光谱测量系统、光量测仪器、电控精密位移台、手动精密位移台、光学调整架、光学平台、光学元件

北京卓立汉光仪器有限公司是一家集光学、精密机械、电子、计算机技术于一体的高科技企业。卓立汉光自1999年起,通过十年的不断努力,成长为光电仪器厂商。目前公司的电控位移台、手动位移台、光学调整架等产品已经形成产品系列化,规格多元化,国内多家科研单位、激光加工设备厂商、光纤设备厂商在使用我们的产品。2000年推出国内*套量产型三光栅光谱仪后,不断推出了多套荧光、拉曼、光电探测器光谱响应、太阳能电池检测等光谱测量系统,广泛应用在众多高校和科研院所的研究与试验,为国家科技创新贡献了一份力量,产品凭借优良的品质远销欧美、东南亚等海外市场。 2005年10月在同行业中*通过ISO9001质量管理体系SGS认证。
         卓立汉光主要生产经营:光谱仪、光谱测量系统、光量测仪器、电控精密位移台、手动精密位移台、光学调整架、光学平台、光学元件等系列产品。
         我们诚心聆听用户的需要与批评,作为不断改进的动力,能让您满意卓立汉光的产品及服务,就是我们较大的成就。因此我们以卓立汉光的光机产品提供 “终身保固” 的承诺,来表达我们对产品的信心。我们坚持从设计、零件选型、制造、装配、检验、包装、运输、直到售后服务做好*质量保证,就是要让您 “付有所值”,以合理的价位得到优质的产品,这是我们对您选择卓立汉光真诚的回报。
        卓立汉光始终以满足用户需求为宗旨,分别于上海、 成都、 深圳设立分公司,为用户提供及时周到的销售与技术服务。“研发创新、快速反应、优质服务” 是我们的经营理念, 公司*重视优质高效、Z短时间为客户开发产品及提供技术支持。卓立汉光真诚的希望与国内外同仁携手合作,为推动我国光电产业迅猛发展做出贡献。
                   
             

详细信息

产品概述

OPTM 系列显微分光膜厚仪
头部集成了薄膜厚度测量所需功能
通过显微光谱法测量高精度反射率(多层膜厚度,光学常数)
1点1秒高速测量
显微分光下广范围的光学系统(紫外至近红外)
区域传感器的安全机制
易于分析向导,初学者也能够进行光学常数分析
独立测量头对应各种inline客制化需求
支持各种自定义
 
OPTM 系列显微分光膜厚仪选型表
 
OPTM-A1 OPTM-A2 OPTM-A3
波長范围 230 ~ 800 nm 360 ~ 1100 nm 900 ~ 1600 nm
膜厚范围 1nm ~ 35μm 7nm ~ 49μm 16nm ~ 92μm
测定时间 1秒 / 1点
光斑大小 10μm (*小约5μm)
感光元件 CCD InGaAs
光源規格 氘灯+卤素灯   卤素灯
电源規格 AC100V±10V 750VA(自动样品台规格)
尺寸 555(W) × 537(D) × 568(H) mm (自动样品台规格之主体部分)
重量 约 55kg(自动样品台规格之主体部分)
 

测量项目:

反射率测量
多层膜解析
光学常数分析(n:折射率,k:消光系数)

 

测量示例:SiO 2 SiN [FE-0002]的膜厚测量

半导体晶体管通过控制电流的导通状态来发送信号,但是为了防止电流泄漏和另一个晶体管的电流流过任意路径,有必要隔离晶体管,埋入绝缘膜。 SiO 2(二氧化硅)或SiN(氮化硅)可用于绝缘膜。 SiO 2用作绝缘膜,而SiN用作具有比SiO 2更高的介电常数的绝缘膜,或是作为通过CMP去除SiO 2的不必要的阻挡层。之后SiN也被去除。 为了绝缘膜的性能和精确的工艺控制,有必要测量这些膜厚度。

 

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