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气体配比器
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详细信息
一、产品的用途：
气体配比器主要用于气体流量测试,并按比例混合气体,为真空管式炉或手套箱营造特定要求的气氛环境.控制方式采用集成化模块控制功能延伸性强根据客户要求随意添加气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头,方便连接且不易泄漏。
二、技术规格：
1.半导体制造行业中气体流量控制
2.各种真空镀膜设备
3.特种材料表面处理
4.气体燃烧控制
5.混和配气系统
6.泄漏探测系统
7.环境检测与分析设备
8.分析仪器的气体流量计量与控制
9.化工、石化、冶金、光纤熔炼等需要气体检测和控制的场所
三、气体配比器的技术资料：
产品型号 | KT-C2Z | KT-C3Z | KT-C4Z | |
气体通道 | 2进1出 | 3进1出 | 4进1出 | |
可根据需求定制 | ||||
产品类型 | 高精度型/快速响应型/智能控制/触摸屏控制 | |||
可选量程 | 20sccm-30slm(气体量程根据客户需要可选) | |||
产品精度 | 高精度型±1％F.S | 普通型±1％F.S | ||
重复精度 | 高精度型±0.2% F.S | 普通型±0.2% F.S | ||
线性 | 高精度型±0.5% F.S. | 普通型±1% F.S. | ||
响应时间 | 高精度型≤2sec | 普通型≤4sec | ||
工作温度范围 | (5~45)°C | |||
供电电源 | ~85-265VAC 50/60Hz | |||
大功耗 | 40W | |||
进气口压 | ≤0.6MPa | |||
连接管道 | 316不锈钢管道 | |||
截止阀类型 | 电磁阀 | |||
单向阀开启压力 | 0.02Mpa | |||
压力显示量程 | 0-0.6Mpa | |||
控制方式 | 7寸触摸屏智能调节 | |||
时间设定 | 0-32000分钟 | |||
清洗功能 | 一键清洗 | |||
程序控制 | 5段可编程序(时间-流量随意设定值) | |||
压力显示 | 有（出气压力检测且有压力上限设置过压切断总输出气路） | |||
气体混合罐 | 有（内置不锈钢扰流板气体混合均匀） | |||
气体加热 | 无（可选配气体混合罐加热，加热温度室温至350℃可调） | |||
流量累计 | 有（累计当前运行总流量） | |||
可选进出气口接头形式 | 3mm,6mm,1/8mm,1/4mm双卡套接头 | |||
抗电磁干扰 | 有 | |||
外形尺寸 | 510x330x240mm | 510x390x240mm | 510x450x240mm | |
重量 | 18KG～45KG | |||
