APK6100E半导体行业超高纯(特种)气体稀释系统，是一款具有高精度高稀释比的升级产品，可配制五种标气的混合气(可定制),稀释比可达到1:10000，二级稀释，高精度，带有加湿功能，可用于传感器生产商，半导体生产商的产品测试及科研院所的科学研究。可根据用户要求定制。

    特点：

    苯系物BTEX，PAMS，硫化物，TO-15，HCHO，SO2，N2O，NO2以及其他;

    带有加湿功能，可控制稀释后气体湿度

    高精度质量流量计（MFC），配制气体浓度精准

    可选配液体标样稀释模块

    应用：

    传感器生产商

    半导体生产商

    科研院所

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■可配置液体或气体样品；

■可实现标样加湿功能；

■两级高精度MFC控制；

■稀释比高；

■全自动运行，直接读取浓度，ppm，ppb或ppt；

■可针对不同用户的稀释要求定制产品。