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ENTEGRIS流量控制器InVue6550
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天津赛力斯自动化科技有限公司是一家集研发、工程、销售、技术服务于一体的现代化企业，是国内自动化领域*竞争力的设备供应商。公司主要经营欧美和日韩等发达国家的机电一体化设备、高精度分析检测仪器、环境与新能源工业设备及电动工具等工控自动化产品。凭借专业技术与商务团队，公司在为客户带来优质产品的同时，还可提供自动化工程技术服务及成套解决方案。
经过的诚信经营及不懈努力，赛力斯目前已与众多世界生产厂商达成友好合作关系并取得多个品牌的中国区代理权，并逐步积累了在工控自动化领域关于货源渠道、价格、货期、服务等各方面的巨大优势。通过多年的发展，在国内我们也与多家设计院、科研院所及集成商有着良好的项目合作关系。
天津赛力斯自创立以来一直秉承“以诚兴业，共存共荣”的经营理念，视客户与伙伴为挚友，视员工为公司Z宝贵财富，团结*，开拓创新，勇于打破行业发展瓶颈，逐步构建并扩大公司在自动化领域的体化供销网络与服务中心。“整合行业*资源，力争行业较好口碑，勇做行业发展引擎”将是赛力斯人永远的追求，我们愿与更多的用户和国内外优质品牌供应商携手并进，一起为国内工业发展贡献力量，共同发展，共同繁荣。
详细信息
产品名称：ENTEGRIS流量控制器InVue6550
产品型号：InVue6550
产品介绍：
Entegris 正在使用创新的流量控制技术解决当今的流量控制挑战。 6550 型 InVue集成流量控制器 (IFC) 专为散装化学品流量控制而设计。 IFC 6550 型设计的流速为 60、90 或 120 L/min，非常适合用于次晶圆厂散装化学品输送应用以及需要高流量的液体处理系统。集成流量控制器采用成熟可靠的差压流量测量技术和的闭环过程控制。 视觉指示器为预防性维护、故障排除和警报状况提供诊断，使用户能够集成更多的过程功能。InVue 集成流量控制器 6550 型设计用于超纯液体化学品、去离子水和 CMP 浆料应用。 它还设计用于控制气泡产生介质。
ENTEGRIS流量控制器InVue6550 性能特点：
●使用成熟可靠的差压流量测量技术和的闭环过程控制
●视觉指示器为预防性维护、故障排除和警报状况提供诊断
●集成压力传感器提供额外的过程信息
●使用气泡产生介质经过验证的测量和控制
●坚固的设计提供稳定性和长期可靠性
●设计为 60、90 或 120 L/min流速
参数：
●流量控制精度：满刻度的±1%（使用去离子水在23°C[73°]下校准）
●重复性：满量程的±0.5%
●压力测量输出：0–689 kPa（0-100 psig）
●压力精度：满量程的±1%
●工作压力：
103–552千帕（15–80磅/平方英寸）（60升/分钟，90升/分钟）
172–552千帕（25–80磅/平方英寸）（120升/分钟）
●输出信号：两个4–20 mA电隔离输出，一个用于流量，另一个用于压力
●响应时间：
≥15磅/平方英寸（60升/分钟，90升/分钟）时<3秒
≥25磅/平方英寸（120升/分钟）时<3秒
●非操作超压限值：827 kPa（120 psig）
●工艺温度：10–65°C（50–149°F）
●电气输入：1.2安培时为24 VDC（±10%）
●设定值输入信号：4–20 mA，0–10 VDC
●外壳：IP54
●重量：3.2千克（7磅）
●产地：美国
