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LA 300 LA 300 激光烧蚀进样系统
激光烧蚀进样是80 年代末、90 年代初形成的一种新型的固体分析技术。当聚集的激光束以足够的能量耦合在样品表面时,样品表面的物质被熔融、溅射和蒸发, 形成的样品蒸气与细微颗粒由载气传输至等离子体中被原子化、离子化,为质谱、光谱等仪器提供一种新型的固体进样方式。
仪器特点:
激光烧蚀原位进样系统具有原位、实时、快速的分析优势和灵敏度高、空间分辨率<10um的特点,对样品微区分析、材料表面的元素分布分析、薄膜或镀层的深度分析等方面都具有独特的优势;固体样品不需分解,可以直接测定,避免了样品前处理过程中引入的污染和难溶样品溶解困难的问题。
仪器参数:
一.激光光源及光路系统
• 激光器类型:灯泵浦的固体调Q激光器
• 波长:213nm
• 频率:(1、2、5、10)Hz,可调
• 输出能量:>=9mJ@213nm
• 光斑大小:4μm~110μm,12个光斑尺寸可调,计算机控制
二.样品控制扫描系统
• 二维电机行程:85mm*85mm
• 定位分辨率:1μm
• 定位精度:5μm
• 重复定位精度:3μm
三.样品载带及气路控制
• 样品仓:密闭腔室
• 气路控制:计算机控制,电磁阀切换
• 流量控制:MFC计算机控制
四.样品成像系统
• 视场范围:0.65*0.53mm
• 放大倍数:10×
• 分辨率:1280x1024