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EVG 101涂胶/喷胶/匀胶系统
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主营产品公司介绍
产品简介:
EVG 101是一款适合于研发的单腔晶圆涂胶显影设备,可用于喷胶、旋涂和显影,可在三维结构晶圆上完成光刻胶或聚合物的涂覆,并保持高均匀性。
主要特点及参数:
·可适用于12寸(300mm)晶圆
·手动装片,自动喷涂/旋涂,自动清洗腔室内残胶
·适用光刻胶范围广泛,粘度可达52000cp
·基片转速:10000r/min
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