微机控制静电吸盘测试台

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微机控制静电吸盘测试台

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济南信标自动化设备有限公司

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济南信标自动化设备有限公司是专业生产动、静态材料试验机和提供各类力学测试系统的新技术企业。是国内民营试验机行业的翘楚企业。公司总部位于中国北京,下设广州分公司和济南分公司,

济南信标自动化设备有限公司是国内生产材料试验机的先导企业,是集科研、开发、生产、服务为一体的技术密集型企业。拥有以中科院院士、材料学家教授为总顾问的技术队伍,公司共有员工70多人,其中中高级技术人员16人,享受国家技术津贴的试验机专家2人,从事材料试验机研制生产20年以上的高级工程师10多人。是国内同行业中技术力量最雄厚,创新能力较强的企业。


济南信标自动化设备有限公司通过发展,已经形成集团化经营模式,下设“电子试验机公司、液压疲劳试验机公司、专用试验机公司”三个专业产品公司以及“软件公司、用户服务中心、材料检测及试验机技术研究所”。济南信标自动化设备有限公司专注于新型材料试验机的研制、材料检测技术的提高以及材料试验方法的创新,通过刻苦的钻研与发展,,成为国内能够全面提供材料试验技术和试验机制造的企业,“Beacon Auto”成为从技术能力等各方面能试验机公司抗衡的国产试验机品牌。

济南信标自动化设备有限公司产品分为动态疲劳试验机、专用试验机及静态电子式试验机、液压式试验机两大类别,包括微机控制电液伺服疲劳试验机、多通道协调加载试验系统、拟动力(静力)加载试验系统、汽车零部件试验台、电液伺服腐蚀疲劳试验机、电液伺服拉扭疲劳试验机、高频疲劳试验机、电子式疲劳试验机、微机控制电子试验机、微机控制液压试验机、电液伺服岩石三轴试验机、微机控制卧式拉力试验机、微机控制高温蠕变持久试验机、微机控制应力松驰试验机、微机控制全自动扭转试验机、微机控制全自动杯突试验机、扭拉摩擦试验机、冲击试验机、专用试验机等10多大系列200多个品种。广泛应用于航天航空、车辆制造、土木工程、核能、冶金、家电、建材、包装等行业以及质检、科研、教学等领域对金属、结构件、零部件、塑料、橡胶、薄膜、土工布、纱线、纤维、纸张、电线电缆、弹簧、铝塑复合管、人造大理石、水泥、包装材料、胶带等进行循环、疲劳、振动、松驰、蠕变、拉伸、压缩、弯曲、撕裂、剥离、剪切、穿刺、顶破、扭转、杯突等力学性能测试和分析。



详细信息

微机控制静电吸盘测试台

基本功能:

静电吸盘的吸附原理主要基于静电吸附。在没有等离子体的环境下,当直流电极接通到高压(低流)直流电源后,电介质的表面会产生极化电荷。对于库仑吸盘吸盘不同种类中的一种而言,这会导致电介质表面出现极化电荷。而对于JR吸盘,除了极化电荷外,还有一部分自由电荷,因为这类吸盘的电介质具有一定的导电性。这些表面电荷会产生电场,该电场进一步在置于吸盘之上的晶片表面产生极化电荷,这些电荷的分布与吸盘上的电荷极性相反。当晶片背面分布的电荷与吸盘上相反时,晶片就被吸盘吸附住了。静电吸盘通过施加外部高压,利用静电吸附力或J-R吸附力来固定硅片。这种吸附力使得硅片能够被稳定地固定在吸盘上,以满足半导体制造等领域的应用需求

为了保证晶圆不与吸盘接触, 吸盘表面均布氦气孔, 用于生产气垫拖住晶圆 使之与电极产生的吸力平衡

测试原理:

微机控制静电吸盘测试台配置不同规格晶圆尺寸的被动吸盘, 吸盘背面预留对应出气孔位置的气体接口, 每个接口用于连接对应的压力和流量传感器, 最多预留16路接口, 16路的压力和流量对应显示在计算机上,

被动吸盘整体与测力传感器连接, 当静电吸盘工作时, 可以测试不同电压下和不同的气体流量压力时 实时对外输出的力, 可以校正不同电压时,对应不同的气体流量,分别输出的实际吸力,并且实时显示每一路气体的压力流量, 用于校正晶圆整体受力是否均匀。

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微机控制静电吸盘测试台基本参数

1. 吸附力:500N

2. 力值精度:±0.5%

3. 适配晶圆规格:10/8/5

4. 传感器压力范围:0.1-50torr

5. 传感器流量范围:0.1-500sccm

6. 传感器精度:±1%

7. 传感器供电:24V

8. 系统耐压等级:1000V

9. 外形尺寸:1200*950*1650

10. 整机功率:2kw

11. 整机重量:260kg

微机控制静电吸盘测试台基本配置:

1. 铝合金台架        一套

2. 大理石台面        一套

3. 垂向移动滑台      一套

4. 吸盘安装座        一套

5. 被动吸盘          一套

6. 气体转接板        一套

7. 压力传感器        16

8. 流量传感器        16

9. 通讯转换器        1台(35路)

10. 计算机及软件     一套

11. 随机工具         一套

12. 防静电脚垫       若干

13. 防静电手环        2

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