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气体传感器测试腔不锈钢真空探针台
郑州科探仪器设备有限公司是集开发、制造、经营为一体的材料设备创新型企业,如今公司的产品已经遍布国内大多数实验室 ,科探仪器已经成为老师 同学和信任的品牌。 公司以科技创新为主,服务社会为宗旨,积极设计开发新型材料制备设备,奉献于教育和科学,经过长期的研发和不断地技术积累,拥有热工,制造,控制相关技术项为化学,物理,材料,电子,高分子工程,新材料制备和研发领域的科学研究提供了精良设备。公司通过和院校老师 同学强强联合,形成了有效的信息,技术交流平台,为科探仪器了解市场需求提供了强有力的支持!
目前公司已研发生产产品十多个系列几十款产品,产品囊括实验电炉 CVD供气系统 等离子清洗机 小型离子溅射仪 小型蒸镀仪 石英管真空封口 真空探针台 半导体等。 主要适用于科研院校及工矿企业在新材料、新能源等领域物理特性及化学特性的研究,广销于各大院校,及材料研究所。
公司与国内高校,科研院所有多层次的合作关系,建有开放实验室,相关领域的教授、工程师、博士参与公司产品的研究和开发。我们秉承公司的发展理念,依靠严谨的技术研发能力,科学合理的生产工艺,精益求精的制造要求,全心全意做好产品质量和服务工作,科探仪器时刻怀着一颗真诚的心期待与您的合作。
气体传感器测试腔不锈钢真空探针台探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本
气体传感器测试腔不锈钢真空探针台的承片台X/Y/Z三个方向均可在真空环境下调节,其中X方向调节范围:0-30mm;y方向调节范围:0-13mm;z方向调节范围:0-13mm;用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上,再微调探针支架X/Y/Z 方向行程,通过显微镜观察,使探针对准检测点后,即可进行检测。
技术参数 | |
腔体材质 | 304不锈钢 |
上盖开启 | 铰链侧开 |
内腔体尺寸 | φ140x180 |
加热台材质 | 304不锈钢 |
观察窗尺寸 | φ75 |
加热台尺寸 | 50x50 |
加热台温度 | 室温-350℃可调 |
加热台温控误差 | ±1℃ |
真空度 | 机械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
真空抽气口 | KF25 |
气体进气口 | 3mm-6mm卡套接头 |
进气阀门 | 高精密针阀 |
抽气阀门 | KF25真空挡板阀 |
压力表 | 机械压力表 -0.1-0.15mpa |
信号电极 | 4个 |
探针数量 | 4个 |
探针材质 | φ1.5钨针 其他材质可选 |
探针移动平台 | |
X轴移动行程 | 30mm ±15mm |
X轴控制精度 | ≤0.1MM |
Y轴移动行程 | 13MM ±6.5mm |
Y轴控制精度 | ≤0.05MM |
Z轴移动行程 | 13mm ±6.5mm |
Z轴控制精度 | ≤0.05MM |
信号电极 | |
电极芯 | 1芯 |
电极引出接头 | BNC母头 |
电极引出线 | 铜网信号屏蔽线 |
BNC引出接头 | X4 |
额定电流 | ≤5A |
额定电压 | ≤220V |
电极芯直径 | φ1mm |
接触电阻 | ≤5MΩ |
绝缘电阻 | ≥1000 MΩ |
外壳接地 | 是 |
电子显微镜 | |
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