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高温真空腔光学测试
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高品质钢质蜂巢台面：
光学隔振平台由钢质蜂巢内核、顶板及底板组成，在降低重量的前提下提供了足够的硬度。光学隔振平台顶板为高导磁性不锈钢材料，底板为氧化处理碳钢板，四周侧板内层为碳钢板外层为黑色铝塑板.
气浮隔震装置：
气压式防振装置，符合 JISD-4101 气垫耐压试验标准 ；自然频率 3Hz~5Hz，使用压力 4.5Kg/cm^2。；本体采用 Neoprene Rubber，一体成型气密性佳。防振效果*，一般设备效率可达 97%以上。
高温真空腔光学测试KT-Z4019MRL4T
196℃至350℃微型高低温探针台，结构精美，外观小巧，搭配4探针，留有石英玻璃观察窗，主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，气敏测试，光敏测试等。
高温真空腔光学测试KT-Z4019MRL4T
真空腔体 | ||
类型 | 高温型室温到350℃ | 高低温型 室温到350℃ 室温到-196℃ |
腔体材质 | 304不锈钢 6061铝合金 可选 | |
腔体内尺寸 | 127mmX57mmX20mm | |
腔体外尺寸 | 150mmX80mmX32mm | |
腔体重量 | 不锈钢材质 约1.5KG 铝合金材质 约0.5KG | |
腔体上视窗尺寸 | Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离） | |
腔体抽气口 | KF16法兰（其余接口规格可转接） | |
腔体真空测量口 | KF16法兰（其余接口规格可转接） | |
腔体进气口 | 6mm快拧 或 6mm快插 | |
腔体冷却方式 | 腔体水冷+上盖气冷 | |
腔体水冷接口 | ||
腔体正压 | ≤0.05MPa | |
腔体真空度 | 机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟） | |
样品台 | ||
样品台材质 | 不锈钢 银铜合金 纯银块 | 银铜合金 纯银块 |
样品台尺寸 | 26x26mm | |
样品台加热方式 | 电阻加热 | 电阻加热 液氮制冷 |
样品台-视窗 距离 | 11mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离到6mm） | |
样品台测温传感器 | PT100型热电阻 | |
样品台温度 | 室温到400℃ | 室温到400℃ 室温到-196℃ |
样品台测温误差 | ±0.5℃ | |
样品台升温速率 | 高温100℃/min 低温7℃/min | |
温控仪 | ||
温度显示 | 7寸人机界面 | |
温控类型 | 标准PID温控 +自整定 | |
温度分辨率 | 0.1℃ | |
温控精度 | ±0.5℃ | |
温度信号输入类型 | PT100 （可选K S B型热电偶） | |
温控输出 | 直流线性电源加热 | 直流线性电源加热+液氮流速控制器 |
辅助功能 | 温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 可扩展真空读数接口 | |
温控器尺寸 | 32cmX170cmX380cm | |
温控器重量 | 约5.6KG | |
探针 | ||
电信号接头 | 配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米 | |
电学性能 | 绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA | |
探针数量 | 4探针（可扩展5探针） | |
探针材质 | 镀金钨针 （其他材质可选） | |
探针尖 | 10μm | |
手动探针移动平台 | ||
X轴移动行程 | 20mm ±10mm（需手动推动滑台） | |
X轴控制精度 | ≥500μm | |
R轴移动行程 | 120° ±60°（需手动旋转探针杆） | |
R轴控制精度 | ≥500μm | |
Z轴移动行程 | 2mm ±1mm | |
Z轴控制精度 | ≤50μm（需手动螺纹调节探针杆） | |
