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DS300质量流量控制器气体配比器
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郑州科探仪器设备有限公司是集开发、制造、经营为一体的材料设备创新型企业，如今公司的产品已经遍布国内大多数实验室 ，科探仪器已经成为老师 同学和信任的品牌。 公司以科技创新为主，服务社会为宗旨，积极设计开发新型材料制备设备，奉献于教育和科学，经过长期的研发和不断地技术积累，拥有热工，制造，控制相关技术项为化学，物理，材料，电子，高分子工程，新材料制备和研发领域的科学研究提供了精良设备。公司通过和院校老师 同学强强联合，形成了有效的信息，技术交流平台，为科探仪器了解市场需求提供了强有力的支持！
目前公司已研发生产产品十多个系列几十款产品，产品囊括实验电炉 CVD供气系统 等离子清洗机 小型离子溅射仪 小型蒸镀仪 石英管真空封口 真空探针台 半导体等。 主要适用于科研院校及工矿企业在新材料、新能源等领域物理特性及化学特性的研究，广销于各大院校，及材料研究所。
公司与国内高校，科研院所有多层次的合作关系，建有开放实验室，相关领域的教授、工程师、博士参与公司产品的研究和开发。我们秉承公司的发展理念，依靠严谨的技术研发能力，科学合理的生产工艺，精益求精的制造要求，全心全意做好产品质量和服务工作，科探仪器时刻怀着一颗真诚的心期待与您的合作。
详细信息
DS300质量流量控制器气体配比器
• 控制精度高，精度可达±1.0% S.P.(≥10%F.S.)。
• 响应速度快，响应时间≤ 0.5sec。
• 采用基于压力原理的流量传感器技术，使产品具有压力不敏感特性，能够适用较大的气源压力波动。
• DS300采用有效的机械加工技术与表面处理技术解决深小孔不能或者很难电抛光(EP)的难题，实现孔径相对较小(孔径<1mm)、深径比相对较大(>10)的不锈钢小孔、深盲孔以及交叉孔的表面电化学抛光处理，*符合SEMI标准要求。
技术参数
DS300C | |
| 类型 | DS300C |
阀类型 | 常闭 |
流量规格(N2) | (0～30,50,100,200,300,500) SCCM |
准确度 | ±1% S.P. (≥10% F.S.) |
线性 | ±0.5% F.S. |
重复精度 | ±0.2% F.S. |
响应时间 | ≤ 0.5sec |
进口压力 | 240～450KPa 流量规格≤5SLM |
出口压力 | ≤1.2KPa 流量规格≤5SLM |
温度系数 | 零点：≤±0.02% F.S./℃； |
耐压 | 3 MPa |
漏率 | 1×10-11 Pa·m3 / sec He |
密封材料 | 金属密封 |
工作压力 | 0.45MPa |
工作环境温度 | （10～45）℃ |
输入信号 | 数字：RS485 或 DeviceNet |
输出信号 | 数字：RS485 或 DeviceNet |
零漂 | 在没有零点校正时＜0.6%F.S./年 |
电源 | ±8～±16 VDC (双极) 或 +14～+28 VDC (单极) |
表面化学成分 | Cr/Fe比例≥2.0； |
表面粗糙度 | Ra 5μinch |
标准接头形式 | VCR1/4阳接头； |
电源接头形式 | D型9针阳接头； |
重量 | 1.2Kg |
