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硅基叉指电极微型探针台
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硅基叉指电极微型探针台KT-Z4019MRL4T
电化学传感器通过与被测目标分析物发生反应，并产生与目标分析物浓度成比例的电信号来工作。典型的电化学传感器由传感电极和反电极组成，并有一个薄电解层隔开。在环境监测中，可以在电化学传感器的电极之间生长可与目标分析物发生反应并发生阻值变化的捕获物，通过检测捕获物的电阻值变化，实现检测环境中大部分有毒有害生物化学物质的目的。电化学传感器通常具有操作简单、仪器成本低等特点。除此之外，电化学传感器可以与各种的微机电系统制造技术联用，从而实现大规模的批量生产，并且可以实现小型化从而降低成本。
折叠编辑本段结构
叉指电极结构
微间距的叉指电极是一种为常用的微间距电极结构，它被广泛的应用于非破坏性测试、电子通讯、化学测试等多个领域。 一般来说，不同的应用领域对于叉指电极的形状、几何学尺寸、加工工艺、材料的选择、建模分析、系统集成以及数据的分析都有不同的要求，因此对于不同的领域我们应该区分对待。如图所示，列出了几种常见的叉指电极结构，基本的结构有圆形、矩形等，而每条叉指的形状除简单的矩形外，也可有圆形或矩形突起。在这里，我们要根据环境监测的具体要求，针对叉指电极的结构形状进行分析说明和终的结构选择，确定具体的设计参数根据微弱信号检测的相关原理，在低频信号测量时，电阻值越高，其相应的电阻热噪声和闪烁噪声也就越高，不利于信号的提取和检测[1]。所以，可以通过减少敏感膜电阻值的方法，实现对气体敏感传感器的信号噪声比的提高，从而减小噪声对测量信号的干扰。根据电阻的计算公式，影响阻值变化的因素主要有电阻率、电阻长度及横截面积等。一般情况下，气体敏感材料薄膜的电阻率较高，因此减小敏感膜电阻值的方法是增加敏感膜的厚度或者是增大敏感膜的宽长比。但是，敏感膜的厚度太大会降低气体敏感传感器的响应时间。因此，综合考虑到响应时间和信噪比，需要设计优化气体敏感传感器中微电极的厚度和长宽比。
硅基叉指电极微型探针台KT-Z4019MRL4T 参数
真空腔体 | ||
类型 | 高温型室温到350℃ | 高低温型 室温到350℃ 室温到-196℃ |
腔体材质 | 304不锈钢 6061铝合金 可选 | |
腔体内尺寸 | 127mmX57mmX20mm | |
腔体外尺寸 | 150mmX80mmX32mm | |
腔体重量 | 不锈钢材质 约1.5KG 铝合金材质 约0.5KG | |
腔体上视窗尺寸 | Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离） | |
腔体抽气口 | KF16法兰（其余接口规格可转接） | |
腔体真空测量口 | KF16法兰（其余接口规格可转接） | |
腔体进气口 | 6mm快拧 或 6mm快插 | |
腔体冷却方式 | 腔体水冷+上盖气冷 | |
腔体水冷接口 | ||
腔体正压 | ≤0.05MPa | |
腔体真空度 | 机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟） | |
样品台 | ||
样品台材质 | 不锈钢 银铜合金 纯银块 | 银铜合金 纯银块 |
样品台尺寸 | 26x26mm | |
样品台加热方式 | 电阻加热 | 电阻加热 液氮制冷 |
样品台-视窗 距离 | 11mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离到6mm） | |
样品台测温传感器 | PT100型热电阻 | |
样品台温度 | 室温到400℃ | 室温到400℃ 室温到-196℃ |
样品台测温误差 | ±0.5℃ | |
样品台升温速率 | 高温100℃/min 值 低温7℃/min | |
温控仪 | ||
温度显示 | 7寸人机界面 | |
温控类型 | 标准PID温控 +自整定 | |
温度分辨率 | 0.1℃ | |
温控精度 | ±0.5℃ | |
温度信号输入类型 | PT100 （可选K S B型热电偶） | |
温控输出 | 直流线性电源加热 | 直流线性电源加热+液氮流速控制器 |
辅助功能 | 温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 可扩展真空读数接口 | |
温控器尺寸 | 32cmX170cmX380cm | |
温控器重量 | 约5.6KG | |
探针 | ||
电信号接头 | 配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米 | |
电学性能 | 绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA | |
探针数量 | 4探针（可扩展5探针） | |
探针材质 | 镀金钨针 （其他材质可选） | |
探针尖 | 10μm | |
手动探针移动平台 | ||
X轴移动行程 | 20mm ±10mm（需手动推动滑台） | |
X轴控制精度 | ≥500μm | |
R轴移动行程 | 120° ±60°（需手动旋转探针杆） | |
R轴控制精度 | ≥500μm | |
Z轴移动行程 | 2mm ±1mm | |
Z轴控制精度 | ≤50μm（需手动螺纹调节探针杆） | |
