扫描双轴（倾斜）MEMS反射镜（或“微反射镜”）是一种光束控制（或2D光学扫描）技术，在许多行业中使用。与竞争产品相比，Mirrorcle Technologies股份有限公司tip-timeMEMS反射镜有几个主要优势。基于ARI-MEMS制造技术的无万向节双轴扫描微镜设备起初是通过位于加利福尼亚州伯克利的亚得里亚海研究所（“ARI”）基于ARI-MEM制造技术的研究项目开发的，无万向节双轴扫描微镜设备在超低功率环境中运行，并在两轴上提供非常快速的光束扫描。该设备使激光束在两个轴上高速偏转至高达32°的光学扫描角。与现有的大型电流计光学扫描仪相比，我们的设备所需的驱动功率要低几个数量级。我们的静电执行器的连续全速操作消耗的功率不到几毫瓦。

MirrorcleTech器件由单晶硅制成，具有好的可重复性和可靠性。光学平面和光滑的反射镜上涂有一层具有所需反射率的薄膜。更大的反射镜可以结合到致动器上，用于定制孔径尺寸。直径从0.8毫米到7.5毫米的镜子目前有库存。高达9.0mm的尺寸在特殊应用中得到了成功证明。

MirrorcleTech的MEMS微镜技术用途广泛，适用于各种应用。一些器件采用某种通用的准静态（点对点）性能规范制造。其他设备是高度可定制的，以实现特定的规格集，例如投影显示器。虽然以下描述主要涉及双轴装置，但也有多个单轴设计可用，包括点对点（准静态）和谐振型。

Mirrorcle Technologies MEMS器件解决了需要光束控制的广泛应用。随着光学扫描或光束转向出现在各种行业和众多应用中，我们的扫描镜在那些需要微型、高速、低功耗或低成本解决方案的应用中most为有利。

• 无万向节设计，实现超高速双轴激光束转向
• 点对点（准静态）或谐振操作模式下的大角度

• MEMS反射镜：A7M10.2-1000AL
• 带宽：在基于LPF的驱动中为~2200Hz
• FoR：约34°x 34°关注范围
• 波长：单个激光二极管光源：绿色（~520nm），<30mW CW功率
• 发散度（半角，平均值）：<2.5mrad
• 重复性：每个轴<0.005°
• MEMS接口：10针0.05“Samtec连接器，与所有MirrorcleMEMS控制器匹配
• 镜子尺寸：从0.6毫米到7.5毫米不等
• 激光接口：

共享10针MEMS接口连接器

需要与扫描模块配对的Mirrorcle MEMS控制器，以匹配激光二极管（LD）特性

• 产地：美国

• 投影显示器
• 3D扫描
• 激光雷达成像
• 3D跟踪和位置测量
• 激光打标和雕刻
• 自由空间光学与电信
• 生物医学成像