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VS3 INTELLEMETRICS晶圆视觉系统VS3
- 型号
- VS3
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详细信息
产品介绍
35年来，我们一直在为光学涂层和等离子体蚀刻行业开发现场监测和控制仪器。Intellemetrics推出了一系列晶圆视觉系统，专门设计用于在负载锁定真空蚀刻和沉积室内观察图案化晶圆，以检查是否已加载正确的晶圆，并确认相对于掩模图案的对齐和放置。图像分辨率取决于工作距离和视场，但通常在5mm的工作距离（适用于ICP蚀刻和沉积室）和600mm视场下可以获得7μm的分辨率。
性能特点
- 5 M 像素高分辨率相机图像
- 共线晶圆照明
- 成像距离从100mm到1000mm
- 可见特征尺寸低至 5um
- 手动和电动对焦选项
技术参数
- 产地：英国
- 摄像头：
- 传感器类型：CMOS
- 传感器尺寸：5像素，2560 x 1920像素
- 像素大小：2.2um
- 电源要求：
- 接口：GigE
- 电源：12至24 Vdc
- 功耗：3.5W
- 是否进口：是
- 封装：厂家制定
- 性能：良好
- 可靠性：高
产品参数
