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CNI v3.0 NIL Technology紧凑型纳米压印工具CNI v3.0
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CNI v3.0是桌面压印工具,易于复制微米级结构,可用的腔室可支持多到100毫米晶圆或200毫米晶圆。CNI是一种用于压印和热压花的桌面尺寸工具。它允许微结构从母版复制到基底。CNI工具可以执行热复制和紫外线复制。CNI工具是压印的良好起点,但它也支持成熟和的开发工作。CNI工具操作简单,功能强大,便于非标准流程和新实验。
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