LAUDA Semistat 热电的过程恒温器

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LAUDA Semistat 热电的过程恒温器

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LAUDA 劳达贸易(上海)有限公司

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加热循环浴,加热制冷循环浴,冷却水循环器,恒温水浴,恒温浴,反应釜,工艺过程恒温系统,冷水机,恒温槽,温控系统,程序控温仪,校准浴槽反应釜专用温控控制系统,工业级加热制冷恒温系统,手动粘度测定仪,全自动粘度测定仪,运动粘度测定仪,冷却单元,表面张力测定仪,界面张力测定仪,张力仪等

LAUDA DR. R. WOBSER 公司目前拥有大约510名员工,年营业额超过9,000万欧元,拥有12家海外分公司。德国 LAUDA在新型的科研用液体恒温设备和系统、应用科学和生产领域都处于性的行业优势地位。德国 LAUDA 具有超过60年的设计生产经验,*的产品系列覆盖了全部紧凑型实验室恒温浴领域到根据客户的需求定制的制冷功率超过400kW的加热和冷却系统。LAUDA 作为一家可以确保为其超过10,000个用户提供在全部温度范围内ZUIJIA工作温度的公司。

 

高品质的 LAUDA 产品可以将温度稳定性控制在0.005℃或是满足温度变化范围从-150℃到550℃的控温要求。通过动态的制冷和加热,生产工艺得到加速或在大限度上使之成为现实。在这些应用中,LAUDA 使用更加环保和低能耗的设备取代了不经济的自来水冷却,或者更加有效地使用各种初级能源。

 

作为一个高度专业化的供应商,LAUDA几乎在所有新兴工业中均处于优势地置,在半导体制造领域,多家制造商和供应商均信赖LAUDA恒温循环浴和加热制冷恒温系统;在药物提炼行业,LAUDA高品质产品既可以用于实验室探索性研究工作,又可以用于大规模生产中;在医疗领域,LAUDA循环冷却器保证心脏外科手术的安全进行。LAUDA的工业级循环冷却设备能为印刷设备,注塑机和激光加工设备提供经济可靠的冷源。其他主要应用还涉及材料测试、生物科技和实验室设备和机器的温控。LAUDA低温恒温浴也被大量应用于特殊油品的检测,例如为了模拟在 1万米高空下的实际状况,航油样品一般在实验室中均会被冷却到-60 ℃时才测定其粘度。

 

凭借不断的研发、众多的革新和持续的投资,LAUDA正在进一步巩固其在市场上优良的声誉,不断扩大在欧洲和海外主要市场的*。

 


劳达贸易(上海)有限公司
LAUDA China Co., Ltd
上海市松江区民益路201号6幢2楼

 

详细信息

 

为苛刻的工艺过程快速和精确的温度控制

热电温度控制系统LAUDA Semistat为等离子刻蚀工艺提供稳定的可重复性的温度控制。系统动态地控制静电卡盘(ESC)的温度并可以用在任何的刻蚀工艺中。LAUDA Semistat 热电温度控制系统设计的基础是基于帕尔帖原理的温度转换, 这些原件可以实现快速且精确的温度控制,满足了当今元器件生产尺寸越来越小的要求。

 

与基于压缩机的系统相比,热点在线使用 Semistat 温度控制系统,降低能耗多达 90 %。可安装在使用地点的地下,非常节省空间,这样大限度地减少无尘室的使用。快速和精确地将过程温度曲线控制在 ±0.1 K,从而提高晶圆间均质性。

 

重要功能:

  • 低能耗,没有压缩机和制冷剂的系统
  • 占地空间小,如果放置在地板下方则不占用Sub-Fab
  • 极低的导热液体填充量

 

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