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CT300 CYBER TECHNOLOGIES轮廓仪CT300
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快速,精确,准确地测量小样本和大样本
315毫米x 315毫米大扫描区域
用户友好的概念
复杂的分析和自动化软件
CT 300是一种非接触轮廓仪,具有315 mm的x,y运动系统。它可以处理12英寸的晶圆或其他大型基板和零件。使用彩色白光传感器和高达20 kHz的数据采集速率,可以将检查时间减至最少。共聚焦显微镜和3D白光干涉仪传感器在低至0.1 nm的z方向上提供了的分辨率。利用多传感器技术,可以同时安装多个传感器头,包括用于测量晶圆厚度的红外干涉仪。
典型的应用是印刷过程的分析和质量控制,例如PV太阳能电池,基板材料的进料检查,各种基板上的厚膜测量,浆料仓库,环氧膜,点或其他印刷和印刷的体积测量。分配的功能。 高轮廓物体的几何形状和位置测量(如焊料凸块,微透镜和MEMS器件)以及平面度和共面性分析是其他受欢迎的应用。由于CT 300在整个行程中保持高精度,因此可以快速而精确地检查较大的零件,例如晶片,垫片或玻璃镜片。
系统控制器:包括运动控制,传感器控制器(2 kHz),电源,工作站的USB接口
工作站电脑:查询当前规格,22英寸宽屏显示器
连接:以太网,DVD驱动器,USB(正面和背面),并行端口,键盘,鼠标,DVI和模拟视频输出
电源要求:100-240V AC,50-60 Hz,2安培(240 V),5安培(100 V)
工作温度:20°-30°C(68–86 F)
测量表面尺寸:400 x 400 [mm](16 x 16 [in])
线性编码器分辨率:0.05μm(2μin)
横向分辨率:min.1微米
X和Y的行程限制(电动):315 x 315 [mm](12 x 12 [in])
Z的行程限制(手动):50 mm(2in)(可调节至100 mm)
机动化的Z轴行程:100 mm,分辨率0.1 µm
平台上的负载:max.10 kg
可用的传感器:
共焦白光传感器
共焦激光传感器
激光三角测量传感器
干涉仪(白光和红外)
尺寸(长X宽X高):900 x 1040 x 1600 [mm]
站立式工作站(35 x 41 x 63 [in])
重量:400 kg (880 lbs)