MFM200系列气体质量流量计

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MFM200系列气体质量流量计

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上海皇龙自动化工程有限公司

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减压阀、背压阀、红外测温仪、热像仪

 


上海皇龙自动化工程公司*以来专业从事红外测温仪和红外热像仪、减压和背压调节阀的代理销售、系统集成和安装调试。代理销售国内外有德国DIAS红外公司便携式、在线式红外热像仪与红外测温仪美国Raytek公司红外测温仪和红外扫描测温系统荷兰RHPS公司减压和背压调节阀英国Pressure-Tech公司减压和背压调节阀美国ASGE公司减压和背压阀及特气设备国产压力调节器和压力测试系统美国Raytek公司红外测温仪美国Emerson集团机械设备状态管理产品等各种温度、流量、压力、气体检测、振动检测、油液测量等产品和系统集成产品。



        
我们提供的红外测温仪和红外热像仪产品,温度范围从-40~3000°C;我们提供的压力调节阀(减压阀、背压阀)压力可从0~15000PSIG,流量系数Cv较大可达73



       
我们的理念:*的知识,Z精细的选型,Z合适的价格,*质的服务

 

 

详细信息

 

MFM 系列热式质量流量计和MFC 系列热式质量流量控制器为多功能产品,该产品的设计易于使用,方便进行流量检测与控制。本类产品标准工作压力为500psig,标准标定时采用空气、氦气、氢气、二氧化碳,其他气体标定可按要求进行。


所有流量计和控制器均由316L不锈钢棒料制造,可用流量范围从0-10sccm到0-20lpm,其精度可高达±1%满刻度。并且每台仪器都可提供可追溯的NIST标定证书。电路设计可以抗高射频干扰,且响应速度很快,从而确保性能可靠和精度。

特点


• 全量程±1%精度
• 经过验证的可靠性
• 量程–20,000 sccm
• NIST 可追溯校准

应用


• 泄漏测试
• 医疗研究
• 气象淀积
• 研发和工艺流程
• 半导体制程
• 污染检测
• 气体混合
• 色谱分析

技术指标

MFM 200
精确度1 和线性度 ±1% 量程
重复精度 ±0.05% 量程
标准额定压力 500 psig
压力系数 典型-0.0067%/psi (0-1000 psig N2 )
整体泄漏率 <1x10-9 sccs
温度系数 3 ±0.035% 量程/°C (0-60°C)
  量程 ±0.05%读数/°C (0-60°C)
标准温度和压力 0°C760
电源 ±15 VDC @ ±25 mA
流量信号 (本征线性) 0-5VDC
接触介质的材料 316 SS, Viton®, 82/18 Au/Ni 钎焊,
微量银焊接
连接器 15针微型 D
接头 1/4" 1/8" 卡套
重量  
1.8 lb (0.82 kg)

选型表

MFM-200订货号    流量范围   1/4"卡套   1/8"卡套
MFM-200-2-10  0-10 SCCM          ⊙
MFM-200-2-100  0-100 SCCM         
MFM-200-2-500  0-500 SCCM         
MFM-200-2-1000  0-1000 SCCM         
MFM-200-4-3L  0-3 SLM         
MFM-200-4-5L  0-5 SLM         
MFM-200-4-10L  0-10 SLM         
MFM-200-4-20L  0-20 SLM         



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