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公司自成立以来,聚集了大量技术专家,以市场为导向,推出了声光电光系列产品如声光/电光Q开关、声光/电光调制器等; 激光器如超快激光器、可调谐激光器、 单纵模激光器等; 各类光学镜片和激光晶体如远心场镜、扩束镜、超快镜片等; 多种测量仪器如光束质量分析仪、光纤折射率测量仪、光谱仪等; 为多种应用提供全套解决方案,如太赫兹研究、激光雷达、激光测距等。 目前,我们是以下公司在中国的合作伙伴,为中国客户提供售前,售中和售后服务:英国Gooch&Housego、德国Sill Optics、德国Metrolux 、瑞士Optotune、 英国Leysop、英国UnikLasers、美国Interfiber Analysis、德国Pantec、美国CVI、以色列HOLO/OR、意大利Brightsolutions、俄罗斯Tydex等。

详细信息

产品介绍:

  微电子应用激光器(SE-Version): 半导体加工,掩模检查,微光刻和计量激光器,满足CE标志和SEMI S2标准。 所有半导体采用全金属/陶瓷技术,以最小的服务实现最长的激光寿命。比标准的, SE型具有洁净室封装,长的腔室寿命和更长的气体寿命。

产品参数:

参数

F2

ArF

KrF

XeCl

XeF

波长 nm

157

193

248

308

351

能量.mJ

3

20

35

15

15

能量控制范围,mJ

1~3

5~20

10~35

7~15

7~15

稳定能量   200Hz

2.5

15

30

15

12

平均功率 W 300/600

0.6/1.2

4/7

6/12

3/6

3/6

稳定性标准偏差

<1%   重复频率

重复率,Hz

300/600/1000

动态态气体寿命

2.00E+08

2.00E+08

5.00E+08

1.00E+08

3.00E+08

静态气体寿命 50%能量

15days

60days

90days

>1year

90days

脉冲长度,ns

12~15

光束尺寸,ns

5×3

8×3

发散,mrad全角

1×2

冷却方式

风冷

光学服务

5.00E+08

3.00E+08

1.00E+09

1.00E+08

3.00E+08

注:如需详细规格参数资料,或有其他要求,请联系我们。

主要应用:

替代激光器

电离源

微加工

精确标记

屈光手术

拉曼光谱


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