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等离子体去胶机
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该企业相似产品
电子元器件及配件,焊接材料,实验设备
总部设于上海，系专业化、集成化的电子制造行业综合服务性企业。公司致力于引进国外制造设备、精密检测仪器、*生产材料，服务于国内电子制造行业，以助于国内企业提高产品品质，由制造型向创造型企业迈进。公司依托于中国国内电子制造业的高速发展，产品已涉及消费电子制造、汽车电子、半导体、LED以及光伏太阳能等行业领域，已在市场中建立起良好的信誉和广泛的商业资源。近年来，随着市场的日渐成熟和业务的不断发展，公司的业务已经遍布中国大陆以及港台市场，并形成较为完善的销售网络，深得广大电子产品制造商的青睐。本公司将紧跟信息时代的发展步伐，充分利用自身优势，不断提升自身的服务理念，致力于为客户提供更专业化、系统化的技术与服务，进一步建立稳固的销售网络，从而将公司发展成为中国电子行业发展的企业。
详细信息
PLASMA等离子体去胶机概要： |
该设备是适用于硅基半导体及化合物半导体前后道的等离子体去胶设备，可用于光刻胶灰化/残胶去除和表面处理，该系列有两种配置分别兼容4“/6”/8“或8“/12“晶圆。设计紧凑占地面积小，设备稳定可靠、易于维护、产能高。
PLASMA等离子体去胶机特点： |
兼容晶圆尺寸为：4 ” /6 ” /8”或8 ” /12 ” |
支持2 个开放式晶圆匣或SMIF |
高精度3 轴机械手 |
2种可选等离子体源： • RPS (400KHz Toroidal远程等离子体源 ) • 电感耦合等离子体源 (13.56MHz) |
高密度等离子体，去胶速率快 |
优异的均匀性和重复性 |
占地面积小 |
耗材成本（COC）和使用成本（COO)低 |
人性化的人机交互操作系统 |
工业计算机Windows |
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