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3轴机械臂3轴圆柱坐标洁净晶圆搬运机械手臂
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总部设于上海，系专业化、集成化的电子制造行业综合服务性企业。公司致力于引进国外制造设备、精密检测仪器、*生产材料，服务于国内电子制造行业，以助于国内企业提高产品品质，由制造型向创造型企业迈进。公司依托于中国国内电子制造业的高速发展，产品已涉及消费电子制造、汽车电子、半导体、LED以及光伏太阳能等行业领域，已在市场中建立起良好的信誉和广泛的商业资源。近年来，随着市场的日渐成熟和业务的不断发展，公司的业务已经遍布中国大陆以及港台市场，并形成较为完善的销售网络，深得广大电子产品制造商的青睐。本公司将紧跟信息时代的发展步伐，充分利用自身优势，不断提升自身的服务理念，致力于为客户提供更专业化、系统化的技术与服务，进一步建立稳固的销售网络，从而将公司发展成为中国电子行业发展的企业。
详细信息
3轴圆柱坐标洁净晶圆搬运机械手臂特点： |
超洁净无尘间用300mm晶圆对应MCR3000C系列 |
适用于半导体生产设备内部，检测设备等的晶圆搬运 |
全轴采用AC伺服电机满足高速搬送的需求 |
比MHR系列具有更好的性价比优势 |
机械手臂标准臂长:160mm, 200mm |
适应设备需求可以选择底座固定方式，或者法兰固定方式 |
配备动作监视器 |
控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式 |
全轴采用值编码器规格的AC伺服电机 |
S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆 |
晶圆固定方式：真空吸附式，下托式，边缘夹持式，伯努利非接触式 |
手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质 |
可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供的手指 |
3轴圆柱坐标洁净晶圆搬运机械手臂基本参数： |
使用环境 | 洁净间内的大气环境 |
手臂 | 单臂 |
到达距离 | 400mm (手臂第3关节中心到达距离) |
升降轴行程 | 300mm / 400mm / 500mm |
可搬运质量 | 4kg (手臂第3关节处基准) |
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