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3轴机械臂3轴圆柱坐标洁净晶圆搬运机械手臂
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代理商衡鹏企业成立于1999年11月,总部设于上海,系专业化、集成化的电子行业综合服务性企业。公司依托于电子产品制造业的发展,已在市场中建立起良好的商誉和广泛的商业资源。近年来,随着市场的日渐成熟和业务的不断发展,公司的业务已经遍布中国大陆以及香港、中国台湾市场,深得广大电子产品制造商的青睐。本公司将在紧紧跟随信息时代的步伐,不断为客户提供各种优质的电子材料及相关设备,扩大*,壮大自身的同时,充分利用自身优势,不断提升自身的服务理念,致力于为客户提供更多元化、系统化的技术支持及技术服务,进一步建立稳固的销售网络,从而将公司发展成为中国*电子行业中的企业。
3轴圆柱坐标洁净晶圆搬运机械手臂特点: |
超洁净无尘间用300mm晶圆对应MCR3000C系列 |
适用于半导体生产设备内部,检测设备等的晶圆搬运 |
全轴采用AC伺服电机满足高速搬送的需求 |
比MHR系列具有更好的性价比优势 |
机械手臂标准臂长:160mm, 200mm |
适应设备需求可以选择底座固定方式,或者法兰固定方式 |
配备动作监视器 |
控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式 |
全轴采用值编码器规格的AC伺服电机 |
S曲线加减速控制方式能够高速,高精度地搬运半导体晶圆 |
晶圆固定方式:真空吸附式,下托式,边缘夹持式,伯努利非接触式 |
手指材质:CFRP(碳纤维),铝合金,高纯度陶瓷等多种可选材质 |
可以针对被搬运物体种类,设备布局等要求提供的手指 |
3轴圆柱坐标洁净晶圆搬运机械手臂基本参数: |
使用环境 | 洁净间内的大气环境 |
手臂 | 单臂 |
到达距离 | 400mm (手臂第3关节中心到达距离) |
升降轴行程 | 300mm / 400mm / 500mm |
可搬运质量 | 4kg (手臂第3关节处基准) |
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