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质量流量控制器D07-11
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详细信息
D07-11质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制，除测量外还可以精密控制气体的质量流量，质量流量计（MFM）可以精密测量气体的质量流量，*高耐压10MPa。
特点
• 高耐压性
• 橡胶密封、模拟电路的MFC
• 采用DB15型电插头，标准机械接头
• CE认证，兼容
D07-11质量流量控制器技术参数
项目 | D07-11C | D07-11CM | D07-11E |
流量规格 | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM |
准确度 | ±1 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S) | ±1 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S) | ±1 .5% F.S (20,30SLM: ±2 % F.S) |
线性 | ±0.5 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S) | ±0.5 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S) | ±0.5 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S) |
重复精度 | ±0.2 %F.S | ±0.2 %F.S | ±0.2 %F.S |
响应时间 | 电特性: 10 sec | ≤10 sec | 电特性: 10 sec |
大工作压力 | 10 MPa | - | 1 MPa |
气压降 | - | ＜ 0.02 MPa | - |
工作压差范围 | ≤10SLM (0.2 ~ 0.8) MPa | - | ≤10SLM (0.1 ~ 0.5) MPa |
耐压 | 10 MPa | 10 MPa | 3 MPa |
工作环境温度 | 5 ℃ ~ 45 ℃ | 5 ℃ ~ 45 ℃ | 5 ℃ ~ 45 ℃ |
输入输出信号 | 0 V ~ +5.00 V | 0 V ~ +5.00 V | 0 V ~ +5.00 V |
电源 | +15 V 50 mA | +15 V 50 mA | +15 V 50 mA |
重量 | 1.2kg | 1 kg | 1.2kg |
