高低温分析晶圆测试探针台

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LS-WPS200-TEC 高低温分析晶圆测试探针台

型号
LS-WPS200-TEC

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莱森光学(LiSen Optics)作为的光谱学解决方案提供商,是一家提供光机电- -体化集成解决方案的高科技公司,我们专注于光谱传感和光电应用系统的研发、生产和销售。莱森光学(深圳)有限公司于2016年在中国成立,同时莱森光学(LiSen Optics)在美国三大光学研究中心之-的佛罗里达州建立了LISEN OPTICS INC (美国公司)。自成立以来始终秉持'技术弓|进与技术创新并重的发展理念,以掌握核心技术和战略驱动创新作为公司的发展思路,致力于为客户提供高品质、专业化、精细化的光电技术服务。凭借着在光学行业中丰富的经验,我们能够为每一位客户”量身定做满足个性化需求的光机电一体化解决方案。经过全体员工的不断努力,公司先后获得了深圳市和国家认定、ISO9001 质量管理体系认证、国家知识产权贯标体系认证、深圳市双软企业认证、国家科技型中小企业认定,目前正在申请国家CNAS实验室认证等资质。此外,公司自成立以来一直致力于为科研及 工业用户提供具有革命性*技术的光谱传感和光电应用系统。我们还具备极其丰富的定制经验,如:光机设计、机电设计、软件开发、定制系统,以满足不同用户的多样化需求。目前,我们的产品已广泛应用于物理学、化学、生物制药、能源环境、半导体制造和食品加工等领域。莱森光学主要产品分类:1、遥感探测光谱测量解决方案:地物光谱仪系列,无人机载高光谱成像系统、水体光谱仪等2、高光谱成像相机测量解决方案:便携式高光谱成像系统、光谱相机、红外高光谱相机等3、水质光谱测量解决方案:多参数水质光谱集成模块,硝氮光谱传感模块等4、VCSEL-TOF测量解决方案:科研级多功能LIV光谱功率测量系统,工业级激光光谱功率测试仪5、光谱透反射测量解决方案:多角度透反射光谱测量系统,IR孔微区透反射集成方案6、子效率光谱测量解决方案:电致发光量子效率光谱系统,光致发光量子效率光谱系统7、LIBS激光诱导击穿光谱测量解决方案: -体化LIBS激光诱导击穿光谱系统,分体式LIBS激光诱导击穿光谱系统8、光谱辐射测量解决方案:紫外光谱辐射仪,宽光谱紫外可见近红外光谱辐射仪,中红外光谱辐射仪、LED光谱辐射测系统9、光学积分球测量解决方案:积分球均匀光源,激光功率积分球,通用标准型积分球,透反射积分球,光谱辐射标定积分球,定制积分球等10、微型光谱仪测量解决方案: OEM微型光谱仪、高分辨率微信光谱仪、高灵敏度红外光谱仪等11、光谱原位在线测量解决方案: :光谱电化学原位测量系统、厌氧停留光谱全吸收原位测量系统12、 光学附件:光源系列,漫反射标准板系列,光纤探头系列,其他光学附件目前,我司现有大量用于光谱检测的实验平台和精密光电分析设备,基于这些精密仪器和实验平台,我们能更精准实现复杂光路搭建、精密光学测试、光电联调、以及光谱检测数据的实验验证、贵重光学元件保存、批量生产数据可重复性等,从而掌握了高精度、高稳定性、精密光谱检测和生产技术,建立了完善的产品数据溯源体系。特别要指出的是,莱森光学(深圳)有限公司-中国公司拥有专业光谱标定实验室,如光谱响应标定、辐照度标定、辐亮度标定、光谱波长标定等,建立了国际的溯源体系可溯源NIST/NIM/PTB/NPL,在行业内部形成了良好口碑,为国内客户提供了更优质的产品和本地化技术服务。

详细信息

产品特性

 

1. 非真空环境下的低温测试,可达-100℃     

2. 大手柄驱动,操作舒适,无回程差设计

3. 兼容高倍率金相显微镜,可微调移动      

4. 0.2微米以上芯片内部线路/电极/PAD测试

5. 高等院校/研究所/公司实验室使用         

6. VCSEL/LD/LED/PD的光功率/光谱测试

7. 大可用于12英寸以内样品测试                       

8. VCSEL/LD/LED/PD的IV/CV特性测试

9. 精密丝杆传动结构,线性移动          

10. 器件的高频特性测试(可至300GHz频率)

 

主要技术指标

 

 

型号

LS-WPS150-TEC

LS-WPS200-TEC

LS-WPS300-TEC

外形

860mm*

850mm*

700mm

880mm*

860mm*

750mm

1400mm*

920mm*

920mm

重量

150公斤

170公斤

250公斤

电力需求

220VC, 50~60Hz

样品台

尺寸

6英寸,可360度旋转

8英寸,可360度旋转

12英寸,可360度旋转

行程

X-Y行程6*6英寸

X-Y行程8*8英寸

X-Y行程12*12英寸

移动精度

1um

切换样品功能

样品台快速拉出

样品固定方式

真空吸附

电学运用

电学独立悬空,可作为背电极使用

针座平台

规格

O型平台,多可以放置8个针座

O型平台,多可以放置10个针座

O型平台,多可以放置12个针座

行程&调节方式

平台可以快速升降,行程6mm,并带自动锁定功能;可以上下微调,行程25mm,升降精度1um

温控特性

温度范围

-100~200℃

-80~200℃

-60~200℃

温控精度

温度分辨率:0.01℃

加热电源

LVDC低压直流

低控温速率

±0.1℃/小时

制冷方式

液氮制冷

光学特性

显微镜行程

X-Y轴行程2英寸*2英寸,Z轴:50.8mm

切换镜头方式

显微镜气动升降

放大倍数

16~100X/20~4000X

镜头规格

目镜:10X;  物镜:5X,  10X,  20X,  50X,  100X (选配)

CCD像素

50W(模拟)/200W(数字)/500W(数字)

点针规格

X-Y-Z行程

12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm

机械精度

10微米/2微米/0.7微米/0.1微米

漏电精度

10pA/100fA(配置屏蔽箱时)

接口形式

香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴/SMA/K接口

应用方向

高低温环境下,LD/LED/PD测试,PCB/封装器测试,射频测试等

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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