我国电子工业近两年来,对超高真空专用设备的需要越来越迫切,已在进行超高真空设备的研制,如超高真空镀膜和排气,以及科研方面所需的超高真空系统等等。在这些排气系统中都需要一套可以烘烤除气的真空截止阀。

真空阀门在真空系统中，用来改变气流方向，调节气流量大小，切断或接通管路的真空系统元件。适用于公称压力PN4.0～10.0Mpa，工作温度≤200℃的火力电站回水冷凝系统管道上，切断或接通中的介质。适用介质为：水、蒸汽等。阀盖填料室设有真空密封结构，具有自胀压紧作用，并且密封采用高强膨胀材料密封，使系统与大气隔离，具有很好的系统气密性。

阀门是管路流体输送系统中控制部件，它是用来改变通路断面和介质流动方向，具有导流、截止、调节、节流、止回、分流或溢流卸压等功能。 用于流体控制的阀门，从的截止阀到极为复杂的自控系统中所用的各种阀门，其品种和规格繁多，阀门的公称通径从极微小的仪表阀大至通径达10m的工业管路用真空阀。阀门可用于控制水、蒸汽、油品、气体、泥浆、各种腐蚀性介质、液态金属和放射性流体等各种类型流体的流动 ，阀门的工作压力可从0.0013MPa到1000MPa 的超高压，工作温度从-269℃的超低温到1430℃的高温。阀门的控制可采用多种传动方式，如手动、电动、液动、气动、蜗轮、电磁动、电磁--液动、电--液动、气--液动、正齿轮、伞齿轮驱动等；可以在压力、温度或其它形式传感信号的作用下，按预定的要求动作，或者不依赖传感信号而进行简单的开启或关闭，阀门依靠驱动或自动机构使启闭件作升降、滑移、旋摆或回转运动，从而改变其流道面积的大小以实现其控制功能。

试制超高真空离子泵(包括冷阴极和热阴极)和去年试制超高真空离子泵排气台时,我们对φ45和φ50直角式超高真空间作了初步研制。实践证明这种高真空角阀,用铝垫密封,能在200℃下烘烤除气,能保证超高真空(10-10乇范围内)与大气隔绝。下面简介这种高真空角阀的研制情况。 高真空角阀的基本要求: ①放气量小,气密性好,漏气率小于1×10-10乇·升/秒; ②重复性好,每次开关都能达到要求,不发生漏气现象; ③通导尽可能大; ④传动装置简单方便可靠,利于手动; ⑤体积小,重量轻。 一、基本结构与阀门材料 th45、th50口径的阀门由三个主要部分所组成,如图一所示。 ①阀体:材料是45·钢或ICr13。在锻造成型后,进行热处理,正火或调质,消除内应力,以免加工后变形。