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半导体设备用0.1μm粒子计数器3950-00
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沈阳加野科学仪器有限公司是日本加野麦克斯集团旗下的高科技合资企业。全权负责日本加野麦克斯株式会社产品在中国大陆的市场开拓和经营。
公司经营具有*技术水平的热式风速计、多点风速计、风量罩、风速变送器、温湿度计、粉尘计、噪声计、尘埃粒子计数器、室内洁净监测系统、室内空气品质测试仪等数十种环境测试仪器产品。 公司全体员工始终以“向极*测试挑战”为目标，本着“技术*、品质优良、用户*信誉*”的经营理念，竭诚为广大用户提供高精度、高技术、高品质的产品和服务。公司产品应用遍及暖通、医药卫生、电子、电力、石化、烟草等行业以及工矿企业、科研院所、高等院校等众多领域。
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详细信息
半导体设备用0.1μm粒子计数器3950-00
应用范围
作为传感器嵌入到设备装置中
洁净室的清洁度管理
高清洁度区域的管理
重视可视性，大画面，触摸屏显示器，可在附带软件上显示测试数据
双通道： 0.1μm 0.3μm
额定流量：2.83umin
通过实现超小型化设计，使粒子计数器嵌入装置设备成为可
0.1 um测量
4.3英寸彩色液晶
标配RS-485,Ethernet,USB
小型化！重量大幅度轻量化
以往的尺寸很难嵌入组装在半导体制造等装置中，
本产品通过压倒性的小型化，使传感器嵌入设备中使用变为简便易行。
半导体设备用0.1μm粒子计数器3950-00
品 名 | 尘埃粒子计数器 | |
型 号 | 3950-00 | |
粒子测量 | 测试方法 | 光散射法 |
粒径通道 | 2粒径（0.1、0.3μm） | |
额定流量 | 0.1CFM（2.83L/分）、精度±5%、（符合JIS B9921和ISO21501-4) | |
测量时间 | 6秒~99分59秒（1次测量时间） | |
间隔时间 | 6秒~99分59秒（测量周期） | |
采样次数 | 1~999次 或 连续测试 | |
地点设定 | 99个地点 | |
测量方式 | 重复、单次、连续、计算 | |
测量数据显示时间 | 1~10秒 | |
测量数据显示 | 累计值∑ 差分值△及柱形图 | |
可测浓度 | 10,000,000个/m³ | |
计数效率 | 50±20%（相对于最小可测粒径附近的PSL粒子） | |
伪 计 数 | <1个/35min | |
粒径分辨率 | 15%以下（相对0.3μm的PSL粒子） | |
气 源 | 内置泵 | |
显示器 | 4.3英寸彩色液晶 触摸屏 | |
通迅功能 | 本 体 | USB（Host用于打印机、USB存储；Device用于与PC链接） |
数据存储 | 媒 体 | 内存 |
数量、格式 | 10,000个、CSV格式 | |
显示语言 | 英文、日语 | |
电 源 | AC100~240V | |
使用环境 | 本 体 | 15~35℃、0~85%RH （无结露） |
外形尺寸 | W150 X H163 X D228 mm | |
重 量 | 3.4kg | |
半导体设备用0.1μm粒子计数器3950-00
半导体产业用0.1μm粒子计数器3950-00
