起订量:
CPPSZ真空加热探针台
免费会员
名称:真空加热探针台
型号:CPPSSZ32
外形尺寸:450×600×1200mm(加整体焊接支架)
产品应用:晶圆/半导体材料气敏测试,IV,CV,PIV测试,高温无氧化测试等
适用于样品尺寸:低于4英寸
真空获得方式:机械泵抽真空
样品盘加热温度:300℃,温控精度±1℃
测试漏电流精度:100fA
探针调节精度:10微米(也可选择5微米,3微米,1微米精度)
CPPSSZ系列真空加热探针台配置单 | |
真 空 腔 | 尺寸320×230×210mm,材质优质铝合金,内表面电解抛光,外表面阳极氧化本色 |
上盖40直径石英观察窗,可开启,下表面可以和光学平台直接连接 | |
配有多个接口,2个KF16,4个KF25,一个备用充气口,一个旋转控制阀门,一个放气阀门口 | |
温控样品盘 | 尺寸4英寸,铝合金材质,平面度5微米 |
温控仪采用日本岛电温控器,显示精度0.1℃,温控精度±1℃,可达300℃ | |
探针座 | 10微米三维调节,可调磁力底座,万向调节夹具,配备美国进口爱默生线和进口三同轴接口 |
真空获得以及测量系统 | 采用成都睿宝真空计,安装1个全金属电阻规 |
真空泵选择合资机械泵,抽速6L/秒 | |
显微镜系统 | 放大倍数7-180倍无级调节,500万像素,搭配8寸显示器,匹配万向调节架和升降台,可以无级调节 |