起订量:
SLH系列探针台
济南创谱仪器有限公司是一家集光学、精密机械、电子、计算机技术于一体的高科技企业。目前公司的手动探针台、光学隔振平台、光学积分球、电控位移台、手动位移台、光学调整架等产品已经形成产品系列化,规格多元化,国内多家科研单位、激光加工设备厂商、光纤设备厂商在使用我们的产品。 创谱仪器主要生产经营:光源(氙灯/光催化氙灯光源,卤钨灯光源,氘灯,汞灯,多波长可调光源,激光器)、分光单色仪、光学积分球、光电探测器、数据采集器、光谱测量系统、电控精密位移台、手动精密位移台、光学调整架、光学平台、光学元件等系列产品。
我们诚心聆听用户的需要与批评,作为不断改进的动力,能让您满意创谱仪器的产品及服务,就是我们的成就。我们坚持从设计、零件选型、制造、装配、检验、包装、运输、直到售后服务做好各个方面质量保证,就是要让您 “付有所值”,以合理的价位得到优质的产品,这是我们对您选择创谱仪器真诚的回报。
济南创谱仪器始终以满足用户需求为宗旨,分别于北京、 深圳设立分公司,为用户提供及时周到的销售与技术服务。“研发创新、优质产品、高效服务” 是我们的经营理念, 公司长期重视优质高效、短时间为客户开发产品及提供技术支持。济南创谱仪器真诚的希望与国内外同仁携手合作,为推动我国光电产业迅猛发展做出贡献。
产品信息:
在实际的科研生产中,由于样品/晶圆(Wafer)得尺寸越来越大,用于测试的探针台相当昂贵,我司根据客户市场应用自主研发的这款结构小巧,功能实用,成本较低得SLH系列探针台,在满足基本测试功能基础上,去除了非必要得部件,该探针台系统包含:光学成像部分,光学底座,探针座,二维调整系统,真空吸附系统;
其中样品二维调整系统是采用可调磁性底座集成,可以通过旋钮来调节磁力有无,非常方便移动样品。
产品特点:
★结构紧凑,功能实用,质量轻巧,方便移动
★可用于12寸以内样品测试
★兼容高倍率电子显微镜,可360°旋转和微调升降
★漏电流精度:10pA/100fa(屏蔽箱内)
★精密丝杠/燕尾传动结构,线性移动,精密位移,无回程差设计
★应用于高等院校/研究所/公司实验室使用
★1微米以上电极/PAD使用
★模块化设计,可以根据应用增加和去除相应模块
产品应用:
◆LD/LED/PD的光强/波长测试(集成我司光电仪器)
◆材料/器件的IV/CV等特性测试
◆晶圆分析测试
技术参数选型:
规格/参数 | |||||||
型号 | SLH-4 | SLH-6 | SLH-8 | SLH-12 | |||
外形尺寸(LWH) | 450×300×355mm | 600×450×355mm | 600×500×355mm | 600×600×355mm | |||
电力需求 | 220VC,50-60HZ | ||||||
样品台 | 尺寸 | 4寸 | 6寸 | 8寸 | 12寸 | ||
行程 | 整体两维调整,XY行程50mm(可以升级行程100mm) | ||||||
移动精度 | 10μm | ||||||
背电极测试功能 | 可以引出电极 | 可以引出电极 | 可以引出电极 | 可以引出电极 | |||
定制模块 | 可定制位移行程和精度 | ||||||
探针调整座 | XYZ行程 | 13mm-13mm-13mm | |||||
机械精度 | 标配5μm(可以升级3μm/1μm) | ||||||
漏电精度 | 10pA-100fA(配置屏蔽箱) | ||||||
安装方式 | 可调磁力吸附/真空吸附 | ||||||
接口形式 | 香蕉插头/鳄鱼夹/同轴BNC/三同轴BNC | ||||||
光学成像 | 放大倍数 | 7-200倍(可升级到720倍) | |||||
CCD像素 | 2000W | ||||||
中心距离 | 140mm,升降范围270mm,总高度350mm | ||||||
显示器 | 12寸显示器,将3-17mm的样品放大到整个屏幕(可升级大尺寸显微镜) | ||||||
可选附件 | 加热卡盘 | 高低温卡盘 | 镀金卡盘 | ||||
隔振支架 | 积分球测试选件 | 屏蔽箱 | |||||
射频测试附件 | 导入光源支架 | 波长单色可调光纤光源(测光电流) | |||||
显微镜调节手动/电动调节装置 | 激光切割显微镜 | 转接头配件 | |||||
创谱仪器可以根据客户应用搭建探针台,以达到更好的使用效果和性价比 |