晶圆减薄机
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DL-GD2005A 晶圆减薄机

型号
DL-GD2005A
参数
晶圆尺寸:?8'' (?4''/?6''/?8'')in 研磨方式:晶圆旋转进给磨削 砂轮直径:?250金刚石砂轮mm 主轴额定功率:7.5/12.9KW 主轴额定转速:4000RPM 磨削精度片间厚度变化:≤±2um 磨削精度TTV:≤2um 磨削精度表面粗糙度Ra:0.15(#2000)um
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全自动晶圆减薄机、晶圆研磨机、晶圆倒角机、CMP抛光机

深圳市梦启半导体装备有限公司成立于2021年,是经深交所主板上市公司长盈精密投资控股的子公司,是一家专注于半导体产业与新能源产业的智能装备制造企业,公司主要专业从事全自动高精密晶圆减薄机、高精密晶圆抛光机、全自动高精密晶圆倒角机、晶圆研磨机、晶圆上蜡机等硬脆材料的加工装备、以及高精度气浮主轴部件系列产品的研发、生产和销售。


产品广泛应用于半导体产业和新能源产业包括但不限于太阳能电池片、LED芯片、硅片、蓝宝石片、砷化镓、氮化镓、钽酸锂、铌酸锂等硬脆材料的加工,同时,公司也提供技术支持和售后服务,以满足客户的各种需求。


作为一家智能装备制造企业,深圳梦启半导体装备注重技术创新和产品质量。公司拥有一支专业的研发团队,可以根据市场需求和客户需求进行定制化开发。同时,公司也拥有生产设备和完善的品质管理体系,确保每一台设备都符合客户的期望和要求。在未来的发展中,深圳市梦启半导体装备有限公司将继续致力于技术创新和产品质量提升,为客户提供更优质、更可靠的智能装备解决方案。

 

详细信息

设备优势

◎ 减薄单元采用轴向进给(ln-Feed)磨削原理,兼容Φ100~300mm晶圆磨削减薄加工。


◎ 设备配有MARPOSS在线测量仪单元,加工时实时测量产品厚度,精确控制减薄厚度。也可选配非接触测量NCG单元。


◎ 设备核心是具有自主产权的2个静压气浮磨削主轴、3个高精度晶圆主轴及1个高刚度大直径气浮回转工作台构造的全自动磨削减薄机。


◎ 全自动上下料。可进行4寸(40um)~ 12寸(80um)超薄晶圆加工。


◎ 分别在前面、左面、右面各配置了1台触摸式液晶显示器,方便在不同区域作业需求,提高了操作便利性。控制画面可同步显示加工状况和设备状态,操作人员只要触摸控制画面上的按钮,就可以简单地完成操作。


性能参数
参数名称单位DL-GD2005ADL-GD3005A
晶圆尺寸inØ8'' (Ø4''/Ø6''/Ø8'')

Ø12'' (Ø8''/Ø12'')

研磨方式-晶圆旋转进给磨削
砂轮直径mmØ250金刚石砂轮Ø300金刚石砂轮
主轴
额定功率
KW7.5/12.95.5
额定转速RPM40003500
磨削精度片间厚度变化
um≤±2≤±3
TTVum≤2≤3
表面粗糙度Raum0.15(#2000)0.15(#2000)
设备尺寸(W x D x H)mm1350x3200x19501544x3622x2000
设备重量KG约3500约4000


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晶圆尺寸 ?8'' (?4''/?6''/?8'')in
研磨方式 晶圆旋转进给磨削
砂轮直径 ?250金刚石砂轮mm
主轴额定功率 7.5/12.9KW
主轴额定转速 4000RPM
磨削精度片间厚度变化 ≤±2um
磨削精度TTV ≤2um
磨削精度表面粗糙度Ra 0.15(#2000)um
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