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半导体芯片用12t/h超纯水设备
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生产厂家苏州市创联净化设备有限公司成立于2005年,是一家从事工业纯水设备、废水处理设备及工程、中水回用设备及工程、废水设备及工程的专业水处理设备生产厂家;公司拥有专业的水处理工程师,电器一体化工程师,完善的售后团队,集设计、研发、制造、销售、安装、维护于一体的专业水处理公司;
近几十年来,随着社会的进步和经济的发展,中国水资源紧张问题变得越来越严重、工业企业如电镀、涂装、电泳、磷化等表面处理行业中因生产所使用水资源有效利用率较低,水资源浪费严重;为响应国家环保号召,改善生态环境,提高废水有效利用率,减少废水排放量及污染量;
通过发展污水处理新技术、提高污水回用率,减少污水及污染物排放量,降低企业处理净化成本,保护现有可利用水资源不被污染和破坏已迫在眉睫;
废水净化回用方法有:絮凝沉淀法,超滤拦截过滤法、反渗透系统脱盐浓缩法、低温浓缩法。蒸发结晶法等工艺;
创联公司成立以来,服务于不同行业客户群体,拥有独立的水处理实验室,可根据客户水样,环评要求,废水特点以及客户真实诉求,设计出完善的水资源配置方案及优化方法,改变水资源利用过程中出现的不合理状况,从根本上解决水资源紧张,水资源污染,水资源利用不充分等问题;
创联公司成立以来一直坚持:以质量求生存,以服务求发展的理念,逐渐建立完善了质量管理体系及售后服务规范化。公司先后加入“中国膜工业协会”、“苏州市环境保护协会”等多家行业协会,并通过了欧盟CE认证,有认可的企业质量生产证书。公司在医药、医疗器械、微电子、电镀、涂装、太阳能光伏、表面处理、精细化工等行业有上千家客户群体,公司愿景:通过产品创新、技术创新,努力提高服务质量,成为环保水处理行业一家负责任的、可信赖的供应商。
12t/h半导体用超纯水设备主要应用于半导体制程中各种冲洗用水,对水的纯度要求比较高,涉及到电阻率、溶解氧、TOC、二氧化硅、微生物等各种指标,要求比较严苛。 |
一、原水水质及水量要求 |
1、要求系统进水量16~20m³/h,才能确保产水量≥12m³/h。 |
2、原水含盐量较稳定,原水电导率设计按照≤800微西门子设计,变化系数K≤1.2,其它指标参考生活饮用水标准。 |
二、系统技术参数表 | ||
序号 | 项目 | CL-12t/h型高纯水设备 |
1 | 设备额定功率 | 约52KW |
2 | 电源 | 380V AC 50HZ 三相五线 |
3 | 系统总回收率 | 65~75百分之 |
4 | 反渗透系统回收率 | 75百分之 |
反渗透出水水质 | ≤15μS/CM | |
5 | 二级反渗透系统回收率 | 80~85百分之 |
二级反渗透出水水质 | ≤4μS/CM | |
6 | EDI电除盐主机回收率 | 90百分之 |
EDI出水水质 | ≥16MΩ.cm | |
7 | 抛光混床回收率 | 100百分之 |
抛光混床出水 | ≥18.2MΩ.cm | |
8 | 进水口径 | DN80 PN1.0法兰接口 |
9 | 出水口径 | DN65 PN1.0法兰接口 |
10 | 排污口径 | DN100 PN1.0法兰接口 |
三、主要工艺介绍 |
3.1、反渗透系统 |
反渗透装置在工艺中主要去除水中99百分之以上的阴、阳离子及有机物、热源和细菌等。反渗透(RO)脱盐系统由RO膜组件、高压泵、RO清洗装置等组成。 |
反渗透是一种借助选择透过(半透过)性膜的功能,以压力为推动力的膜分离技术膜元件,由反渗透膜导流布和管等制作而成,将多根RO元件装入不锈钢耐压壳体内,组成RO组件。本工艺脱盐系统的关键,成熟的工艺设计和合理的操作,控制及管理,直接决定着系统的正常、稳定出水。并关系到反渗透膜的使用寿命,经反渗透处理后的出水,去除了绝大部分无机盐和几乎所有的有机物,微生物(细菌、热源等)从而确保了本系统产品水的高质量、高品质。 |
完成预处理后的出水其出水由淤积密度指数SDI测试仪监测,当SDI值<4时,即可进入RO系统,由高压泵增压后进入反渗透系统(RO),反渗透出水(脱盐纯水)去中间水箱,另一部分由管道汇集后成浓水(主要含盐份、机械杂质、胶体、有机物等)随小部分未透过水排入下水道。反渗透主体设备选用美国海德能公司生产的高脱盐率低压CPA3LD-8040芳香族聚酰胺膜元件。该膜元件属节能型低压膜,是世界上先进的卷式RO膜元件,具有结构紧凑,产水量特别大(单支RO膜产水量可达1.3t/h),脱盐率高(单支膜试验数据>99.7百分之),操作压力低,耐细菌侵蚀性好,适用PH范围广(PH为3~10)的优点。 |
3.2、EDI电除盐系统 |
EDI(Electrodeionization)是应用电再生离子交换树脂除盐工艺来取代传统的混合离子交换除盐工艺的一种革命性水处理技术。EDI工艺采用一种离子选择性膜和离子交换树脂夹在直流电压下的两个电端之间,在两端的直流电源电场从RO预处理过的水中去除离子。流入EDI模块的RO水被分成了三股独立的水流:产水水流、浓水水流和水流。EDI工艺从水中去除不想要的离子,依靠在淡水室的树脂吸附离子,然后将它们迁移到浓水室中。离子交换反应在模块的淡水室中进行,在那里阴离子交换树脂释放出氢氧根离子(OH-)而从溶解盐中交换阴离子(如氯化物、Cl-)。同样,阳离子交换树脂释放出氢离子(H+)而从溶解盐中交换阳离子(Na+)。高质量的模块可以连续产生高达18MΩ.CM的高纯水。通过这种技术,可以用较低的能源成本就能去除溶解盐,并且不需要化学。 |
EDI的特点: |
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