RLD10差分干涉仪

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RLD10差分干涉仪

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测杆
公司前身为深圳市福田区创世仪器耗材经营部,于2002年成立。因公司业务发展需要,于2012年正式成立“深圳创盛世科技有限公司”。 2002年自成立起公司便成为雷尼绍(Renishaw)经销商。雷尼绍是的工程科技公司之一,在精密测量和医疗保健领域拥有专业技术,在产品开发和制造技术的创新方面享有盛誉。自1973年成立以来,雷尼绍便致力于为不同规模的企业提供创新产品,旨在帮助企业提高生产力、改善产品质量并提供性价比优异的自动化解决方案。遍布世界各地的子公司及经销商为用户提供优质服务和技术支持相关产品(激光干涉仪、球杆仪、比对仪、坐标测量机测头、测针;机床测头、测针;光栅、激光尺、磁编码器等...) 2020年公司业务扩展需求,取得世界行业品牌德国费斯托(FESTO)代理商。Festo自动化技术和技术培训领域的供应商 ,为中国市场提供工厂自动化和过程自动化的气动和电动技术及全面解决方案,主要服务于汽车、轮胎/橡塑、食品饮料、平板和太阳能、电子和轻型装配行业,水/污水处理以及生物技术/制药等行业。同时,Festo Didactic 为 500 多个教育合作伙伴、大学、职业院校和工业培训中心提供支持——培训内容从基础课程到技术学习中心的“交钥匙”成套设备。相关产品(FESTO阀岛,FESTO接头,FESTO伺服马达,FESTO气爪,FESTO压力开关,FESTO气管,FESTO比例减压阀等..)公司目前客服分布为:数控机床,汽车零部件,模具,电子3C等行业,提供产品及服务是本公司立足之本,公司秉承“诚信为先、客户为重、双赢为高”的经营原则,始终将对客户的服务放在。自成立以来,创盛世公司一直为广大客户提供优质的产品和满意的服务,承蒙客户的信任和支持,公司业务得到了稳健的发展。追随着新时代的前进步伐,作为客户可信赖的合作伙伴,创盛世公司必将精益求精,为广大客户提供更为优质以及更为完善的服务。全体员工团结一致,锐意进取,推动公司朝着集团化、规范化。现代化的方向发展。培育的企业团队,形成稳健的企业作风,树立诚信的企业形象,不断提升服务质量,优化投资环境,与客户建立紧密的战略伙伴关系,在公司经营中贯彻为客户赢得客户的理念,实现与客户一起成长的目标。我们期待着与您携手共进!

详细信息

差分干涉仪允许测量相对于定义参考对象的位置变化。

差分发射头具有的光学设计,可实现极低的SDE性能。内置的激光准直辅助镜可在设定过程中实现俯仰和扭摆角度调整,从而改进准直过程(仅适合平面镜应用)。

RLD10-X3-DI发射头可通过一个简单的三针固定架安装在工作腔的外墙上。无需进入工作腔即可校正光路,内置激光准直辅助镜可对参考和测量光束的俯仰和扭摆进行独立的调整,安装系统的设计允许拆卸发射头和调整发射头位置,对系统准直的影响极小。

特性与优点

  • 优异的测量性能 — ppb稳频精度,超低周期误差,输出分辨率达到38.6 pm。

  • 差分配置 — 测量运动平台相对于安装立柱的位移,从而消除常见模式误差,例如与环境波动有关的工作区侧壁移动。

  • 快速调节准直 — 采用四个内置激光准直辅助镜,很简单地在真空室外部进行准直调整,从而消除真空室和镜组安装公差。

规格

轴行程0 m - 1 m
分辨率(使用RLU配置)模拟正交 = λ/4 (158 nm)
数字正交 = 10 nm
RPI20分辨率 = 38.6 pm

系统非线性误差* (SDE)

*不含接口

低于50 mm/s且信号强度 > 70%时 <±1 nm
1 m/s且信号强度 > 50%时 <±6 nm
速度可达1 m/s

通常使用雷尼绍RLU20来配置差分干涉仪发射头。RLU20激光源的高稳定性结合差分干涉仪发射头的高性能,必将成为真空室和其他空调严格控制环境中的应用的理想选择。


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