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精密质量流量控制计(MFC),该产品是经过实践验证的适合多种应用场合的标准产品,流量精准度及性价比高,的传感器和阀控技术,经过实地应用验证的平台组件以及高速的
模拟/数字线路带来准的气体流量控制,可以满足客户在数值和功能上对于MFC的不同要求。适用于半导体,平板显示,数据存储,真空工业,ICP光谱设备及太阳能晶硅制程等不同行业。
流量计量程 300-5000sccm可选
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