真空磁控溅射电阻镀膜机,真空磁控溅射电阻镀膜设备

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MSC-600 真空磁控溅射电阻镀膜机,真空磁控溅射电阻镀膜设备

型号
MSC-600

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上海沃家真空设备科技有限公司是国内*的真空镀膜工程集成供应商,紧紧围绕客户需求持续创新,为客户创造较大价值。我们对伙伴开放合作,在新能源、新材料、建筑/汽车、精密制造、重工/*等领域构建技术与服务优势。我们致力于为企业、科研院所、薄膜涂层加工中心等提供有竞争力的综合解决方案和服务。

本公司产品主要有:连续式磁控溅射镀膜生产线、平面弧工模具硬质涂层设备、多功能中频磁控溅射多弧复合离子镀膜机、中频磁控溅射镀膜机、多弧离子镀膜机、光学镀膜机等系列真空镀膜设备。

产品广泛用于太阳能、半导体、Low-E玻璃、光电、平板显示、工模具、钟表五金、3C产品、塑料、陶瓷等。本公司拥有完善的研发体系、生产制造体系及客户服务体系,并聘有国内外多位专家。目前,产品及工艺遍布全国各地及海外地区。

公司是全体员工价值实现和提升的理想平台。致力于为客户提供*质*的表面处理解决方案,进一步整合公司内外资源,加大研发投入,不断推出新技术、新产品,以满足国内外市场需求,创造Z佳的社会、经济和环境效益。

详细信息

主要用途
是生产各种金属膜电阻及氧化膜电阻的设备,可以完成高、中、低不同阻值的镀膜工艺。

主要组成
设备由真空室、真空机组、直流溅射源、射频溅射源、分流式滚筒、充气装置、真空测量及其它辅助装置等组成。

主要特点
生产能力大,根据型号的不同,每炉可镀制装载量达分别为1011Kg、2025Kg、3040Kg左右的瓷体。
磁控溅射源工作特性稳定可靠,沉积速率高,阴极体采用可变磁场,大大提高了靶材的利用率,在40%以上。
根据不同电阻值和工艺要求配置不同溅射源,工艺适应性强。如配置射频溅射源可镀制介质膜,配备离化源可镀制氧化膜。
采用特殊分流式滚筒,瓷体镀制膜层均匀,阻值集中。
如配用PLC可编程控制,设备自动化水平提高,性能更加可靠,操作更为简便。
调节沉积室的气氛可控沉积膜的阻值和TCR(温度系数);镀制后电阻在合适的“后调整”热处理后TCR可接近于零。

 

 

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