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XT100(M) 四极质谱残余气体分析仪RGA
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测量气体范围 XT100(M) XT200(M) XT300(M) | 1到100 amu 1到200 amu 1到300 amu |
检测类型 | 法拉第杯(FC)或电子倍增器(EM) |
灵敏度(A/mbar) | 5×10-4torr,法拉第杯,氮28, 10%峰高 |
分辨率 | 1 amu ,10%峰高 |
zui小可检分压强 | 10-11 torr或10-14 torr(电子倍增器),氮28,10%峰高 |
工作范围 | 10-4 torr到超高真空 |
工作环境zui高温度 | 40°C |
烘烤温度 | 300°C(不包括CCU) |
通讯端口 | RS-232C,115,200 Baud |
软件运行环境 | Windows® 2000或XP |