德国SENTECH公司 ICP等离子/ RIE反应离子刻蚀机---上海/苏州/北京/广州

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德国SENTECH公司 ICP等离子/ RIE反应离子刻蚀机---上海/苏州/北京/广州

型号
苏州诺威特测控科技有限公司

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环境测试,传感器

    NOVTEC寓意“科技创新”,即诺威特测控科技有限公司在德国、日本设有代表处,多年来致力于将世界的高科技产品带给中国及亚洲的广大用户,并为客户提供完善的售后服务,协助他们提高生产技术水平、竞争力及增加盈利,专业从事工业测量与测试产品的销售与研发,拥有产品研发中心、研究院和生产工厂,技术力量雄厚。

    我们的合作伙伴大都是工业测量与测试领域的翘楚,彼此关系深厚稳固,有些合作超过十几年的时间。NOVTEC不断在员工培训方面,投入大量资源,藉此提高他们专业水平,邀请国外*专家进行定期的技术培训和指导,由经验丰富的专业工程师团队提供全面的技术支持。同时延揽经验丰富、资质优良、充满活力的人才,与客户的需求紧密结合,为其提供*而可靠的加值型服务。

     我们的核心价值观:做正确的事,坐正直的人。

     我们的客户遍布于新能源、新能源、动力电池、半导体、LED、触摸屏、*、大学、科研院所、电子、新材料、船舶、第三方检测机构等行业。

    本着“为客户创造价值”的经营理念,我们给您提供的是世界*的产品,丰富的经验,*的技术,完整经济的系统解决方案和*的服务。

    因为专业,所以我们值得信赖

详细信息

 德国SENTECH公司 ICP等离子/ RIE反应离子刻蚀机---上海/苏州/无锡/南京/天津/北京/武汉/西安/杭州/济南/广州

    SENTECH仪器(德国)有限公司研发、制造和销售*的薄膜测量仪器(光谱椭偏仪、激光椭偏仪、反射膜厚仪)、光伏测量仪器(在线和离线测量工具)和等离子工艺设备(等离子刻蚀机、等离子沉积系统、原子层沉积系统、用户定制多腔系统)。

    仪器广泛应用微电子、光电、纳米技术、LED、平板显示、材料、有机电子、光伏、玻璃镀膜、生物学、生命科学、研发领域。

    NOVTEC寓意“科技创新”,即诺威特测控科技有限公司,在德国、日本设有代表处,多年来致力于将世界的高科技产品带给中国及亚洲的广大用户,并为客户提供完善的售后服务,协助他们提高生产技术水平、竞争力及增加盈利,专业从事工业测量与测试产品的销售与研发,拥有产品研发中心、研究院和生产工厂,技术力量雄厚。

  

 产品简介

    SI 500为研发和小批量生产应用提供*的ICP刻蚀工艺,具备高度的灵活性和模块化设计特点,可实现范围广泛的刻蚀工艺。包括刻蚀III-V化合物、II-VI化合物、介质、石英、玻璃、硅和硅化合物等。

    SI 500C低温ICP刻蚀机,可在-100℃左右的低温下实现深硅刻蚀。优点是刻蚀后形成非常光滑的侧壁,尤其在光学应用上非常重要。同时低温刻蚀工艺的高刻蚀速率可实现刻穿样片。

     SI 591 采用模块化设计、具有高度灵活性,适用于III-V 化合物、聚合物、金属盒硅刻蚀工艺,可配置为单反反应腔系统、或带预真空室或片盒站的多腔系统。特别适用于采用氟基气体的工艺,具有很高的工艺稳定性和重复性。

型号

SI 500

ICP刻蚀机

-30~+200℃


SI 500C

低温ICP刻蚀机

-150~+400℃


SI 500-30

ICP刻蚀机

带预真空室

zui大12寸晶圆

SI 591

反应离子刻蚀机

带预真空室


Etchlab200

反应离子刻蚀机

不带预真空室


SI500-RIE

反应离子刻蚀机

带预真空室

带氦气背冷却系统

具体型号及技术要求咨询。

诺威特测控科技有限公司

Add:中国苏州市*开发区金枫南路198号

:夏雨 

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:info@novtec.hk 

http://www.novtec.hk


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