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安徽省《半导体行业水污染物排放标准》解读

2023/1/27 13:30:00
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来源:安徽省生态环境厅
关键词:水污染处理工业废水
导读:半导体产业是未来我省经济社会发展的战略性、基础性和先导性产业,根据相关规划和现场调研,我省合肥、芜湖、滁州、池州、马鞍山等市的半导体产业将会呈现出快速发展势头。与此同时,半导体行业集成电路制造与封装测试工艺中均有大量废水产生,尤其是封装过程中电镀工序,涉及重金属等有毒有害物质排放,环境危害较大,需要强化环境监管。
  经省人民政府批准,省生态环境厅、省市场监督管理局联合发布省级地方标准《半导体行业水污染物排放标准》(以下简称《标准》,编号为DB34/ 4294—2022,2023年1月1日起实施。
 
  一、《标准》制定的背景是什么?
 
  答:半导体产业是未来我省经济社会发展的战略性、基础性和先导性产业,根据相关规划和现场调研,我省合肥、芜湖、滁州、池州、马鞍山等市的半导体产业将会呈现出快速发展势头。与此同时,半导体行业集成电路制造与封装测试工艺中均有大量废水产生,尤其是封装过程中电镀工序,涉及重金属等有毒有害物质排放,环境危害较大,需要强化环境监管。
 
  2006年11月,上海市发布了《半导体行业污染物排放标准》(DB31/374-2006),2020年开展了标准修订工作;2020年02月,江苏省发布《半导体行业污染物排放标准》(DB32/3747-2020);2020年12月,生态环境部发布了包括半导体行业在内的《电子工业水污染物排放标准》(GB 39731-2020)。为对标长三角生态环境标准一体化,加强我省半导体行业水污染物排放监管力度,省生态环境厅启动了本标准的编制工作。
 
  二、《标准》的制定思路是什么?
 
  答:为进一步推进高质量发展,发挥环境标准的倒逼和引领作用,促进产业升级与绿色发展。根据我省水生态环境不同质量状况、行业废水排放方式等,规定车间或生产设施废水排放口、企业废水总排放口的直接排放、间接排放及特别排放限值,并提出监测、实施与监督管理等要求。
 
  三、《标准》的制订过程是怎样的?
 
  答:为深入推进水污染防治,对标长三角生态环境标准一体化,进一步加强半导体行业水污染物排放监管力度,安徽省生态环境厅组织由安徽省生态环境科学研究院牵头,安徽建筑大学、合肥市环境保护科学研究所、合肥工业大学参与,制订了《标准》。
 
  《标准》于2020年9月正式启动,成立专门的编制组,全面收集、查阅了国内外有关资料,广泛调研了我省半导体产业发展和半导体企业水污染物治理水平、水污染排放情况等。在《标准》的制订过程中,广泛听取了有关部门、企业及专家的意见和建议,召开了内部专家咨询、中期评估审查以及专家技术咨询会等,相继征求了各市生态环境局、省直有关部门和行业协会、15家半导体企业、生态环境厅有关处室意见。于2022年4月28日起至5月28日在安徽省市场监督管理局官方网站公开征求社会公众意见,同时也书面征求了上海市生态环境局、江苏省生态环境厅、浙江省生态环境厅意见。2022年6月8日,安徽省市场监管局和安徽省生态环境厅组织召开了标准技术审查会,通过了技术审查,并在修改完善后报省人民政府审批。
 
  四、《标准》的适用范围是什么?
 
  答:《标准》适用于半导体行业企业(包括从事半导体分立器件或集成电路的制造、封装测试的企业)的水污染物排放管理,以及半导体企业排污许可管理、建设项目环境影响评价、建设项目环境保护设施设计、竣工验收及其投产后的污染控制与管理。
 
  五、《标准》的主要内容是什么?
 
  答:《标准》以水污染物排放控制要求为核心内容,按照一般区域、特别排放区域两种情形,规定了总镉、总砷等7种一类水污染物,氟化物、化学需氧量等14种二类水污染物的直接和间接排放标准。同时,规定了半导体行业企业不同产品规格的单位产品排水量和半导体企业污水集中处理设施废水综合毒性控制项目和标准。
 
  在指标限值方面。《标准》较我省现执行的标准《电子工业水污染物排放标准》(GB 39731-2020),有13项指标不同程度收严,其中总氰化物直接排放限值收严60%、间接排放限值收严80%,总铬、六价铬直接排放限值和间接排放限值均收严50%,总砷直接排放限值和间接排放限值均收严60%,总铜直接排放限值收严20%、间接排放限值收严50%,化学需氧量直接排放限值收严40%,氨氮直接排放限值收严60%,总氮直接排放限值收严57%,石油类直接排放限值收严40%、间接排放限值收严25%,总有机碳直接排放限值收严33%、间接排放限值收严50%等,并增加了特别排放限值指标。《标准》实施后,我省半导体行业总铬、六价铬削减率为50%左右,化学需氧量削减率为40%左右,氨氮削减率为60%左右,对地表水环境质量改善有较好的效果。
 
  六、《标准》实施的时间是什么?
 
  答:新建半导体企业自 2023 年 1 月 1 日起执行,现有企业自2025 年 1 月 1 日起执行。
 
  七、《标准》制定后,如何确保顺利实施?
 
  答:(1)由县级以上人民政府生态环境主管部门负责监督实施。(2)标准实施后,国家新颁发或修订的相关标准中排放限值要求严于本标准的,执行相应标准限值要求。
 
  原标题: 安徽省《半导体行业水污染物排放标准》解读

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