单晶硅烘箱主要用于单晶硅与多晶硅清洗后的烘培、干燥方面的工艺处理。
 

　　单晶硅烘箱特点
 

　　1、烘箱采用数显温度调节仪进行温度控制、控温灵敏、操作简便、性能可靠，数字直接显 示出工作温度，直观易读。
 

　　2、工作室温度可在室温至250℃之间任意恒温；能自动切断电源，保护设备和产品。
 

　　3、该设备具有超温报警，恒温计时功能。
 

　　箱体结构：箱体采用数控机床加工成型，箱门采用双开式，操作容易。内胆采用SUS304不锈钢板，外壳为A3板喷塑处理，更显光洁、美观。电路系统侧采用门式开启，方便维护和检修。箱门闭合松紧能调节，整体成型的硅橡胶门封圈，确保烘箱的密闭性。
 

　　单晶硅烘箱日常保养：
 

　　1. 打扫表面及内腔灰尘，保持机器干净、卫生。
 

　　2. 检查电流表电流跟正常时是否一样，如有异样，通知维修工检修。
 

　　技术参数：
 

　　1、工作室材质：镜面不锈钢板；
 

　　2、网板：2层不锈钢网板；
 

　　3、定时范围：1-9999min 4、温度范围：RT 10~400℃；
 

　　5、温度分辨率：0.1℃；
 

　　6、温度波动度：≤±0.5℃。
 

　　应用领域：
 

　　1、高科技电子业
 

　　2、化验室等单位
 

　　3、研究机构
 

　　4、精密品管部门