集成电路污染物成分复杂，废气种类多，而且这些废气中大部分是含有有毒有害物质，它不仅影响生产人员健康，而且周围的环境造成一定的影响，因此，必须加强治理和控制，那么集成电路废气处理系统应如何设计呢?
      集成电路生产线一般是24小时运行的流水线,废气处理系统的设计应安全可靠。废气处理系统的入口静压不能波动太大,否则轻则导致工艺设备的报警,重则导致芯片的报废,只能在年度定期检修时可以考虑维持一定的静压。设计时必须考虑排风机的余量,排风机为变频风机,设计为N+1方式。另外废气系统的制作材料也很关键,必须安全可靠。早期的酸碱性废气的管配件为聚氯乙烯(PVC),但酸碱性废气的成分比较复杂,集成电路一些事故表明,PVC不能满足防爆要求。现在的集成电路企业所采用的酸碱性废气的管配件为内衬聚四氟乙烯的不锈钢板;热无处理废气一般采用镀锌钢板的材料;有机废气和粉尘废气一般采用不锈钢的材料。
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