激光雕刻切割机准分子激光的光束近场剖面图呈非对称型的高阶模式图。一般准分子激光输出光束都是来自激光雕刻切割机，轮廓为长宽比略大于2:1的矩形，在长轴方向（水平）上是高帽型（hat top）分布，在短轴方向（垂直）上是近高斯（ quasi—Gaussian）分布。在这两个方向上，准分子激光的发散角也不一样。在水平方向上的发散角较大，一般为十几毫弧度，而垂直方向上的发散角为3毫弧度左右，两个方向的发散度比为4:1左右。准分子激光激光光束在两个方向发散角的差异，使得对于它的整形与变换存在较大的困难。

    激光雕刻切割机准分子激光的工业应用很大程度依赖*和短期的稳定度，以及对辐射特征如脉冲能量、光束直径、发散角、点稳定度准分子激光光束横截面分布立体图（取向稳定度）等的精确控制。因此，除对光束参量评价的标准方法外，对激光雕刻切割机的近场和远场光束特征的精确的测量诊断工具是有要求的。尤其重要的是对空间强度剖面的记录。因此，除对一般光束形状的快速评价外，也允许对zui重要光束特征参量和传输参量的评价。
    激光雕刻切割机中激光微加工的激光光源通常采用超短、*、超快、高光束质量的激光。具有这些特征的激光与材料作用时，能得到明显的微区约束性能，对非激光雕刻切割机加工区影响小，材料的加工量可以做得非常精细，甚至可以达到单原子态分离（烧蚀时），摄大地提高加工精度。

    激光加工的分辨率由公式决定：横向分辨率
    因此，采用波长更短的激光雕刻切割机，可以获得更小的加工分辨率。比如采用准分子激光进行基于冷加工机理的作用，对周围未加工材料几乎没有热影响，因而可以得到接近理想的加工边界，整齐、陡度高、无飞溅残留物。加工部位材料可以显示原质材料的优良性能，而且在加工中很容易屏蔽常见微加工工艺中的杂质吸附效应：由于属于无接触光加工，对材料基体及加工区的性能（热物理性能、理化性能、机械性能、电气性能）有害影响较小，可得到满意的加工质量。刻蚀加工侧壁面具有高的垂直度，无侧向钻蚀作用，呈现较显著的各向异性刻蚀效果，因此可以得到比常规的化学腐蚀、干法刻蚀等微加工手段更大的深宽比。另外，没有像在硅刻蚀工艺中的<110>，<100>和<111>晶面刻蚀取向选择性的限制．沿材料的任何方向上都可进行准分子激光的加工。

    近场剖面特征：目前，工业激光雕刻切割机准分子激光运转在脉冲重复率达几百Hz的水平．在光子微光刻中甚至达到lkHz或2kHzo如前述，准分子激光光束的近场割面非圆对称，其近场剖面测量受脉冲能量间隔的影响，剖面形状和脉冲能量在大约30个脉冲后稳定。
    点稳定度：通过测试距离激光器输出窗口约70cm处的一定数量激光脉冲辐照点离散度，得到其方向离散值在X方向约90um，在y方向约70um。
    脉冲能量稳定度：准分子激光能量分布直方图呈高斯线型。
    束宽：准分子激光光束口径较大，一般都在几毫米到几十毫米之间。
    光束发散角：准分子激光光束比其他激光光源发散角大，因此进行光束变换是比较困难的。