超纯水设备
集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等。此外，其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路、真空管等的制作也都要使用超纯水

工业用超纯水设备工艺大致分成以下几种：
1、采用离子交换树脂制备超纯水的传统水处理方式，其基本工艺流程为：原水→砂碳过滤器→阳床→阴床→混床→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点
2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合的方式，其基本工艺流程为：原水→砂碳过滤器→反渗透设备→原水箱→纯水泵→混床→后置精密过滤器→纯水箱→用水点
3、采用反渗透水处理设备与电去离子（EDI）设备进行搭配的的方式，这是一种制取超纯水的工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为：原水→砂碳过滤器→反渗透设备→原水箱→纯水泵→电去离子（EDI）→纯水箱→用水点
4、采用反渗透 混合床方式，其流程如下：
原水→原水加压泵→砂碳过滤器→反渗透→中间水箱→中间水泵→混合床→微孔过滤器→用水点

以下为一经典18x106Ω•cm工艺流程及图片：
原水→原水泵→砂碳过滤器→加药装置→一级反渗透→中间水箱→PH调节装置→二级反渗透→二级水箱→输送泵→精密过滤器→TOC去除机→EDI→超纯水箱→输送泵→抛光混床→UV杀菌器→精密过滤器→用水点

工业用超纯水设备应用

炉补给水、除盐水设备——各种蒸汽锅炉、火力发电厂、热水炉、石化热力锅炉等补给水。

　　中水、废水回用设备——石油化工、钢铁、市政、纺织印染等工业领域的中水、废水回用。

　　电子——单晶硅、半导体晶片切割制造、半导体芯片、半导体封装、引线框架、集成电路、液晶显示器、导电玻璃、显像管、线路板、光通信、电脑元件、电容器洁净产品及各种元器件等生产工艺用纯水。

　　一般工业用纯水设备——镀膜玻璃、电镀、表面涂装、纺织印染、工业配液、工业产品清洗等用水。

　　生物医药行业用纯水设备——针剂、粉针剂、大输液、生化制品用水、无菌水、口服液等符合GMP标准。

　　精细化工行业用纯水设备——化工工艺用水、化学药剂、化妆品等用纯水。

　　苦咸水淡化、海水淡化设备。

　　膜分离设备——药物分离、回收、浓缩、提纯设备。

　　生活饮用水处理、宾馆、楼宇、社区优质供水设备、直饮水工程。