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二级超纯水系统《分析实验室用水规格和实验方法》:
二级超纯水系统指标名称 一级水 二级水 三级水
1级水>10MΩ;2级水>1MΩ;3级水>0.2MΩ
PH值范围(25℃) - - - - 5.0-7.5
比电阻MΩ.cm@25℃> 10 1 0.2
电导率(25℃)us/cm≤ 0.1 1 5
可氧化物[以O计]mg/L -- 0.08 0.40
吸光度(254nm,1cm光程)≤ 0.001 0.01 --
二氧化硅(mg/L) 0.02 0.05 --
蒸发残渣(mg/L) -- 1.0 2.0
主要工艺流程
1.预处理----复床 ----混床---抛光树脂
2.预处理----反渗透---混床---抛光树脂
3.预处理----反渗透----CEDI膜块----抛光树脂