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CCQ-A气动超高真空插板阀
CCQ-A型气动超高真空插板阀是用压缩空气为动力，通过电磁换向阀改变气路方向，推动气缸活塞，驱动阀板作上下运动，实现阀门的开启或关闭，从而达到在超高真空系统中接通或切断气流的目的。
适用的工作介质为洁净的空气和非腐蚀性气体。
CCQ-A型气动超高真空插板阀主要技术性能
适用范围（Pa） | 105～1.3x10-7 |
阀门漏率（Pa.L/S） | DN≤200为≤1.3x10-7 |
阀门烘烤温度（℃） | ≤150（除传动装置外） |
开阀时阀板两侧压力差（Pa） | ≤2.7x103 |
气源压力（MPa） | 0.4～0.6 |
电源电压 | 标准出厂：AC220V/50Hz |
信号反馈 | 标准出厂：不带反馈信号 |
