一般是将氮氧化物氧化到高价态NO2或N2O5，这样可根据烟气总量、烟气中的NOX的各种浓度等数据，就可以计算得到所需的臭氧量，再预留一定的余量即可。
    还需要一套臭氧喷射投加装置，可通过多喷头、喷嘴都可实现，也包括各种阵列的打孔技术，远比SCR的喷氨格栅简单。
    同时脱硫脱硝，在同一个洗涤塔内完成NOX和SOX的洗涤。由于氮氧化物主要以NO为主，NO并不能在装置中与SO2同时被碱液吸收，这就需要先用强氧化剂将NO氧化为高价态，比如氧化成NO2或N2O5。因此次只需要增加与将氮氧化物转化为高价态相当的臭氧发生器、氧气供应系统臭氧投加装置，即可在脱硫时同时实现脱硝。

臭氧脱硝的机理

臭氧脱硝的机理在于臭氧可以将难溶于水的NO氧化成易溶于水的NO2、N2O3、N2O5等高价态氮氧化物。
低温条件下，O3与NO之间的关键反应如下：
（1）NO+O3→NO2+O2（2）NO2+O3→NO3+O2
（3）NO3+NO2→N2O5（4）NO+O+M→NO2+M
（5）NO2+O→NO3