光氧一体等离子废气净化器低温等离子体技术处理污染物的原理为：在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质，或使有毒有害物质转变成无毒无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。因其电离后产生的电子平均能量在10ev ，适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得十分快速。

低温等离子体技术处理污染物的原理为：在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质，或使有毒有害物质转变成无毒无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。因其电离后产生的电子平均能量在10ev ，适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得十分快速。

光氧一体等离子废气净化器等离子是由离子、电子、自由基和激发态原子或分子等物种组成，属固态、液态、气态之外第四种状态，由于在一定的空间范围内气体中的正、负电荷相等，故之形成等离子体。采用低温等离子体分解油雾、废气等污染物时，等离子体中的高能离子起决定性的作用。等离子其原理是通过高压窄脉冲电压发生器产生的前沿陡峭、脉冲窄（纳秒级）的高压脉冲电晕放电，在常温常压下获得非平衡等离子体，产生大量高能电子和·O、·OH等活性粒子。在低温等离子体中，发生各类型的化学反应，这主要取决于等离子的平均能量、离子密度、气体温度、污染物介质内分子浓度及共存的介质成分。对气态有机污染物的降解机理有足够的能量来产生自由基，引发一系列的物理、化学反应。由低温等离子体引起的气体有机物化学反应是在气相中进行的电离、离解、激发、原子与分子间的相互反应。这个能量可使大多数气态有机物中的化学键发生断裂，从而得到降解，使污染物直接分解或氧化还原最终转化为无害物。