COL-4120度COB工艺无尘烘箱
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上海旦顺实业有限公司
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含氧量<500ppm
上海350度晶圆洁净烘箱
Class 100精密无尘烘箱/烤箱COL-4
工作尺寸:W600×H1200×D800
外形尺寸:W1100×H1870×D1150
Class 100无尘烘箱性能特点:
主要技术参数:
1.产品名称:无尘烘箱
2.产品型号:COL-4
3.无尘等级:Class 100;
4.温度范围: +60℃~ +300℃;
5.温度均匀度:±1.5%;
6.温度波动度:±0.5℃(空载)
7.温控精度:±0.1℃;
8..排 气 口:ф50;
9..加热方式:无尘加热器;
10.压缩气体过滤器,可把气体过滤到CLASS 10,
11.箱体材料:采用进口SUS304#镜面不锈钢板,并经碱性苏打水清洁可防止微尘;
12.内胆材料:采用进口SUS304#镜面不锈钢板,并经碱性苏打水清洁,去油污避免烘烤时产生 PARTICLE;
13.中桶材料:采用进口SUS304#镜面不锈钢板,并经碱性苏打水清洁,去油污及氩焊密封加工(防污染)。
14..保温材料:超细玻璃棉;
15.控制器采用多段式微电脑温度控制器,具有PID控制参数自动整定功能。
16.运行方式:恒定运行;
17.温度测量:采用特制锴装铂电阻;
18..温控输出:SSR输出
19.完善的安全保护措施:漏电断路器/超温保护/欠相保护/马达过载电流保护/机台异常蜂鸣器警示
无尘烘烤箱: 传真: : ,:周高超 ;
: :蒋鑫,参考:http://www.done-e.com.
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