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代理商厂商性质
北京市所在地
北京飞凯曼公司提供精密划片机。日本APCO公司精密划片机系列,型号包括AMC-7600,7800,8000。广泛应用于硅片、光掩膜、液晶显示器用TFT、石英、集成电路器件等样品横断面的切割。划片精度±2.5微米,适用于zui大达8英寸,厚度0.6至10毫米样品,可确保获得光滑的横断面以便于进一步观察。具有CPU控制,操作简便,制备速度快,可以刻划平坦或弯曲的样品。目前,包括东芝、索尼、爱普生、IBM、菲利普、NEC等许多的半导体制造商都在使用APCO的产品。
AMC-8000切割机()
《AMC-8000简要规格》
一.特点
二.主要规格
1.适用材料尺寸 8英寸 10mmt
2.工作台移动距离 X=50mm Y=230mm θ=360度
3.划线精度 ±15um
4.光学系统 单筒收缩显微镜 实体显微镜
5.监测 CCD+14~20英寸彩显
6.显示倍率 22~800倍
三.切割压力设定实例
石英 8.85mmt 约45N
石英 3.00 约30N
石英 2.30 约25N
玻璃 10mm(14”CRT) 约55N
玻璃 0.8mm 约12N
Si 0.7mm 约5N
显象管 10mm
硅片(Si、InP)
四.切成片实例
6025石英掩膜→6.35mm×约5mm×约5mm
1.2mmt玻璃 →1.2mm×约5mm×约50mm
0.7mmt硅片 →0.7mm×约4mm×约4mm
3mmt InP片 →0.3mm×约0.5mm×约5mm
五.刀压设定很容易
刀压由旋钮自由设定。对一种试样,可改变几次设定值试划,便可得到合适的刀压。以合适刀压划线后,用附属的切断钳很容易切断。
六.划线设定简单
只要将划线端点对准OM表针中心位置,按压设定指令按钮即可,此位置即为划线起点或终点。
zui大设定12点(间隔划线zui大可设定5点)设定后,装置即自动划片。
七.划刀寿命长(1年以上)的理由
八.带有声响警告装置,在下列情况下装置警告且不工作
九.安全保证
漏电切断,无熔线断路器。
AMC-8000补充说明
本机不是大批量生产用的,而是在使用SEM观察各种半导体硅片、各种玻璃材料等不良部位及试制品合格与否时,为其制作试样用的机器。使用该机的主要时研究开发部门、品质管理部门、分析/解析部门。
本机的特点及剖面SEM试样的加工工艺如下:
一.特点
二.加工工艺过程:
三.划线精度:
AMC-7600 ±15um
AMC-7800 ±15um
AMC-8000 ±2.5um
四.划线宽度由试样和划线加工条件而异,约为数100 um
五.zui大5点跳跃间隔划线,如后图所示,用显微镜观察试样表面时,如果观察部分遭到破坏,便无法观察,本机可预先设定好划线坐标位置,自动地跳过要观察的部位,这样便不会划伤要观察的部位了。而且一次划线可取得5个要观察的位置。
但条件是硅片等结晶材料,其观察部位要沿结晶方向在一条直线上。
六.划刀价格:15000-30000日元。(属日本国内价格,且带刀架)。
七.划刀寿命:以加工硅片为例,每年需换2-3次刀。
八.ABK-5切断机的使用方法: