低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。
 

　　低温等离子体在外加电场的作用下，介质放电产生的大量电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体，轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质，或使有毒有害物质转变为无毒无害或低毒低害物质，从而使污染物得以降解去除。因其电离后产生的电子平均能量在1eV - 10eV，适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得十分快速。
 

　　等离子体分解破坏挥发性有机污染物的两种途径如下
 

　　(1)高能级电子直接作用于污染物分子：
 

　　e + 污染物分子 —— 各种碎片分子
 

　　(2)高能级电子间接作用于污染物分子：
 

　　e +O2 (N2,H20) ——2O(N,N*,OH) +污染物分子 ——中性分子
 

　　从以上反应过程可以看出，电子先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到污染物分子中去，那些获得能量的污染物分子被激发，同时有部分分子被电离，从而成为活性基团。然后这些活性基团与氧气、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。
 

　　低温等离子净化设备可广泛应用于石油化工、制药、食品、污水处理厂、涂料、皮革加工、感光材料、汽车制造等诸多行业有机废气的治理以及采用其它方法很难解决的废气的治理。低温等离子净化设备技术，工艺简洁：开机后，即自行运转，受工况限制非常少，无需专人操作，除臭率可达99%。 节能：无机械设备，空气阻力小，耗电量约为0.003kw/m3废气。 适应工况范围宽：设备启动、停止十分迅速，随用随开，不受气温的影响。在250℃以下和在雾态工况环境中均可正常运转。-50℃至+50℃的环境温度仍可正常运转。 设备使用寿命长：本设备由不锈钢材，铜材、钼材、环氧树脂等材料组成，抗氧化，采用防腐蚀材料，电极与废气不直接接触，根本上解决了设备腐蚀问题。 结构简单：只需用电，操作极为简单，无需派专职人员看守，基本不占用人工费。 无机械设备：故障率低，维修容易。 应用范围广：介质阻挡放电产生的低温等离子体中，电子能量高，几乎可以将所有的异味气体分子降解。