低温等离子废气净化设备机理：
   等离子体化学反应过程中，等离子体传递化学能量的反应过程中能量的传递大致如下：
   (1) 电场＋电子→高能电子
   (2) 高能电子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基团、游离基团) 活性基 团
   (3) 活性基团＋分子(原子)→生成物+热
   (4) 活性基团＋活性基团→生成物+热
从以上过程可以看出，电子先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离，从而成为活性基团；之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。另外，高能电子也能被卤素和氧气等电子亲和力较强的物质俘获，成为负离子。这类负离子具有很好的化学活性，在化学反应中起着重要的作用。
低温等离子废气净化设备低温等离子体净化设备是在高压放电的作用下，由被电场加速的带电粒子轰击空气和废气成分，产生雪崩效应。整个气体氛围中产生大量的正、负离子、自由基团，具备强的氧化性。有机废气一部分被高能粒子直接轰击电离，分解成小分子的产物;一部分被氧化性自由基氧化，生成CO₂和H₂O，从而实现净化废气的目的。

低温等离子模块是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。

适用范围

主要运用于化工业、造纸也、制药业、食品业、轮胎及橡胶生产厂、汽车生产、油漆喷涂、污水处理、污泥废气处理、垃圾处理废气、皮革业、印刷厂、香料生产业、饲料及饲养场、农药生产以及烟草业等等多个领域的异味和恶臭处理。