在一定的湿度条件下，氧气吸收了大部分185nm的紫外线，但随着湿度的进一步增加，水蒸气和氧气竞相吸收了185nm波长的紫外线，水蒸气吸收了更多的185nm的紫外线，产生了更多的羟基自由基。水蒸气与活性氧反应产生羟基自由基。与臭氧和活性氧相比，羟基自由基具有更强的氧化作用，因此光解速度明显加快，有效提高了单位时间内的废气去除率。
 

　　1.有机废气在引风机作用下进入UV光氧催化设备，粗过滤挡板首先对气体中的大颗粒进行初步过滤，减少下一级工艺的处理压力。
 

　　2.过滤后的有机废气进入氧化分解区，被臭氧强制氧化，分解为其他物质，再进入UV光照裂解区进行进一步的分解，改变分子结构，如此循环处理。
 

　　3.多次分解后的气体经过活性炭吸附后排放，实现对有机废气的净化处理。
 

　　4.根据客户生产实际情况，可增加洗涤塔、活性炭箱等辅助设备协助进行有机废气处理。